[发明专利]一种蒸镀机

说明书

【技术领域】

本发明涉及液晶显示器技术领域，特别是涉及一种蒸镀机。

【背景技术】

有机发光二极管(OLED)显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。

OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸发源装置，分为点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等。线蒸发源为当前重要的OLED量产技术，主要分为一体式线蒸发源和输送式线蒸发源。

图1为现有蒸镀机的结构示意图。如图1所示，现有输送式蒸发源装置包括蒸发源11，与蒸发源连接的气体通道12；与气体通道连接的输出部13。其中蒸发源11、气体通道12、输出部13均设有独立的加热装置、冷却装置及温度监控装置，通过温度控制装置精确控制各部分的温度。气体通道上还设有速率监测器15(RateMonitor)及阀门16，输出部13设有若干蒸发喷咀14。输送式蒸发源将材料填充于蒸发源腔体中，通过高温气体通道将蒸发气体输送至蒸发喷咀，最终蒸发气体溢出并沉积于基板17的表面。

但是现有蒸镀机一种蒸镀材料设置一个蒸发源，当蒸镀中断时，若保持蒸镀速率会有材料损耗，若降温至待机温度，再恢复至设定速率，需要较长时间并且也会损耗材料。

因此，有必要提供一种蒸镀机，以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种蒸镀机，以解决现有蒸镀机蒸镀中断时，若保持当前蒸镀速率会有材料损耗的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明构造了一种蒸镀机，其包括：

蒸发源组，包括至少两个蒸发源，所述蒸发源具有一腔体，所述蒸发源用于对其腔体内的蒸发材料进行蒸发，以产生蒸发气体；

气体通道，包括公共气体通道和至少两个子气体通道，所述公共气体通道用于将所述蒸发源产生的蒸发气体导出到基板表面；每个所述蒸发源对应设置一所述子气体通道；所述子气体通道的一端与所述公共气体通道连通；所述子气体通道的另一端与对应的所述蒸发源连通；

阀门组，包括公共阀门和至少两个子阀门，每个所述子气体通道对应设置一所述子阀门，所述公共阀门用于控制所述公共气体通道的导通或者不导通；所述子阀门用于控制对应的所述子气体通道的导通或者不导通。

在本发明的蒸镀机中，当所述蒸镀机蒸镀时，开启任意一个所述蒸发源对应的所述子阀门和所述公共阀门，关闭其余所述子阀门，以使蒸镀蒸发源的对应的子气体通道和所述公共气体通道导通，其中所述蒸镀蒸发源为所述开启的子阀门对应的蒸发源。

在本发明的蒸镀机中，所述公共气体通道的温度大于所述蒸镀蒸发源的温度，所述蒸镀蒸发源对应的子气体通道的温度大于所述蒸镀蒸发源的温度。

在本发明的蒸镀机中，当所述蒸镀蒸发源的腔体中的蒸发材料的容量小于预设值时，关闭所述蒸镀蒸发源对应的所述子阀门，开启所述公共阀门和其余所述子阀门中的一个。

在本发明的蒸镀机中，当所述蒸镀机暂停蒸镀时，关闭所述公共阀门，开启暂停蒸发源对应的所述子阀门和沉积蒸发源对应的所述子阀门；通过沉积通道，使所述暂停蒸发源产生的蒸发气体流入与所述沉积蒸发源的腔体中进行沉积，其中所述沉积通道为所述暂停蒸发源对应的子气体通道与所述沉积蒸发源对应的子气体通道之间的连通通道；所述暂停蒸发源为所述蒸镀机蒸镀时使用的蒸发源，所述沉积蒸发源为其余所述蒸发源中的任意一个或多个。

在本发明的蒸镀机中，所述暂停蒸发源的温度大于所述沉积蒸发源的温度，以使所述暂停蒸发源产生的蒸发气体在所述沉积蒸发源内沉积为液态或固态。

在本发明的蒸镀机中，所述公共气体通道内还设置有速率监测装置，所述速率监测装置用于监测所述蒸发源的速率频率。

在本发明的蒸镀机中，所述蒸镀机还包括输出部，所述输出部设置有多个喷咀，所述输出部用于将从所述气体通道导出的蒸发气体通过所述喷咀喷到所述基板的表面。

在本发明的蒸镀机中，当任意一个所述蒸发源蒸镀时，所述输出部的温度大于所述蒸镀的蒸发源的温度。

在本发明的蒸镀机中，所述蒸发源设置有加热装置、冷却装置、温度监控装置。

本发明的蒸镀机，增加至少一个蒸发源，选定其中一个进行蒸镀，当蒸镀中断时，将该蒸镀的蒸发源蒸发的材料沉积在其余蒸发源中，在恢复蒸镀时，能够维持原有速率的同时，降低能源损耗。