[发明专利]用于离子源的灯丝夹持装置

说明书

技术领域

本发明涉及离子束刻蚀技术领域，尤其涉及一种用于离子源的灯丝夹持装置。

背景技术

离子束刻蚀是纯物理刻蚀工艺，在常规刻蚀方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特点，且可以对绝大部分材料进行刻蚀，在微电子工艺中应用日趋广泛。通常地，离子束刻蚀机离子源中放电灯丝采用螺母将灯丝固定在灯丝杆上，灯丝杆通过绝缘件固定在放电室上，绝缘件直接暴露在放电室内，此结构存在如下不足：(1)绝缘陶瓷件易污染从而造成灯丝与放电室之间短路；(2)灯丝采用螺母夹持的方式固定安装不便，且位置易改变，安装的灯丝发生改变，最终改变了离子源性能的一致性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种绝缘性好、能减少绝缘污染，且减少离子源维护周期的用于离子源的灯丝夹持装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种用于离子源的灯丝夹持装置，包括放电室、灯丝杆和绝缘座，所述绝缘座套设于灯丝杆上，所述绝缘座将灯丝杆固定安装于放电室上，且随灯丝杆伸入放电室内，所述灯丝杆穿过放电室，且一端安装灯丝，所述灯丝杆上靠近灯丝的一端套设利于灯丝紧固夹持的绝缘防护套，所述防护套与绝缘座的端面抵接，且伸入放电室的外周遮挡于绝缘座的前方。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述绝缘座伸入放电室的外周上开设至少一个用于减少绝缘污染的迷宫槽，所述防护套遮挡于迷宫槽的前方。

所述迷宫槽为环形槽或螺旋形槽，所述迷宫槽的轴线与灯丝杆的轴线相同。

所述灯丝杆沿径向开设一安装灯丝的夹持孔，沿轴向开设一将夹持孔一分为二的通槽，所述通槽延伸至放电室内，所述防护套套设于通槽外以将灯丝夹紧于夹持孔内。

所述防护套远离绝缘座的一端内部设有大端朝外的第一锥形面，所述灯丝杆的外周设有与第一锥形面配合的第二锥形面，所述第一锥形面的锥度小于第二锥形面的锥度。

所述灯丝杆远离灯丝的另一端穿过绝缘座伸出，伸出端设有螺纹，伸出端上套设利于第二锥形面远离或靠近第一锥形面的调节件。

所述调节件包括弹性件和锁紧螺母，所述弹性件设于绝缘座与锁紧螺母之间，当锁紧螺母压缩弹性件紧抵于绝缘座上时，第二锥形面靠近第一锥形面且与第一锥形面紧密配合以实现灯丝夹紧。

所述绝缘座为倒T形结构，倒T形的大端面位于放电室的外壁上并通过安装孔和螺栓配合紧固放电室上，小端面伸入放电室内。

所述防护套为与灯丝杆、绝缘座均同轴设置的阶梯形套筒，所述阶梯形套筒大端朝下，所述阶梯形套筒的阶梯内孔与绝缘座的端面抵接，大端的筒壁遮挡于绝缘座的前方，小端的筒壁靠近灯丝。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明用于离子源的灯丝夹持装置，其防护套套设于灯丝上，既有利于灯丝紧固夹持，又与绝缘座抵接，将灯丝杆与放电室绝缘隔开，使得灯丝杆引入电压时，灯丝与放电室之间绝缘，再者，防护套伸入放电室的外周遮挡于绝缘座的前方，避免绝缘座直接暴露于放电室内，减少绝缘污染，减少离子源的维护周期。

附图说明

图1是本发明用于离子源的灯丝夹持装置的结构示意图。

图2是本发明的绝缘座的结构示意图。

图3是本发明的灯丝杆的结构示意图。

图中各标号表示：

1、放电室；2、灯丝杆；3、绝缘座；4、防护套；5、夹持孔；6、调节件；10、灯丝；21、第二锥形面；30、迷宫槽；41、第一锥形面；50、通槽；61、弹性件；62、锁紧螺母。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

图1至图3示出了本发明用于离子源的灯丝夹持装置的一种实施例，包括放电室1、灯丝杆2和绝缘座3，绝缘座3套设于灯丝杆2上，绝缘座3将灯丝杆2固定安装于放电室1上，且随灯丝杆2伸入放电室1内，灯丝杆2穿过放电室1，且一端安装灯丝10，灯丝杆2上靠近灯丝10的一端套设利于灯丝10紧固夹持的绝缘防护套4，防护套4与绝缘座3的端面抵接，且伸入放电室1的外周遮挡于绝缘座3的前方。本发明的灯丝夹持装置，此防护套4套设于灯丝10上，既有利于灯丝10紧固夹持，又与绝缘座3抵接，将灯丝杆2与放电室1绝缘隔开，使得灯丝杆2引入电压时，灯丝10与放电室1之间绝缘，再者，防护套4伸入放电室1的外周遮挡于绝缘座3的前方，避免绝缘座3直接暴露于放电室1内，减少绝缘污染，减少离子源的维护周期。