[发明专利]一种碲化镉太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种碲化镉太阳能电池的制备方法，所述碲化镉太阳能电池在衬底层表面沉积有氧化钛薄膜缓冲层,所述氧化钛薄膜厚度为20纳米到100纳米，所述电池依次含有衬底层、氧化钛薄膜缓冲层、硫化镉薄膜层和碲化镉薄膜层以及背电极，所述背电极是在碲化镉薄膜层表面沉积50纳米厚的金圆点阵列作为背电极，其特征在于包含如下步骤：

(1)通过直流磁控溅射在衬底层沉积氧化钛薄膜层，气流为4标准大气压立方分米每分钟氧气混合25标准大气压立方分米每分钟氩气；腔体压力为0.6帕；靶材为钛金属；

(2)在氧化钛薄膜层表面利用化学浴法沉积硫化镉薄膜层，化学浴沉积溶液为醋酸铬、硫脲、醋酸铵和氢氧化铵中的任意一种或几种；

(3)在硫化镉薄膜层表面利用电化学沉积法沉积碲化镉薄膜层，采用三电极系统沉积，其中样品、碳棒和Ag/AgCl电极分别作为工作电极，对电极和参比电极；

(4)使用氯化铬对碲化镉薄膜层进行处理并制作背电极，碲化镉薄膜层沉积之后，使用去离子水对得到的样品进行清洗，然后将样品浸泡在过饱和氯化铬甲醇溶液中，然后使用甲醇对样品冲洗、再吹干，样品在氩气和压缩空气氛围下退火，最后，通过热蒸镀沉积金圆点阵列作为背电极。

2.如权利要求1所述的碲化镉太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中所述氧化钛薄膜层通过直流磁控溅射沉积，溅射后，对氧化钛薄膜层进行退火。

3.如权利要求1所述的碲化镉太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中电化学沉积溶液为硫酸、硫酸铬、氯化铬和二氧化碲混合而成。

4.如权利要求1所述的碲化镉太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述衬底为钠钙玻璃。

5.如权利要求1所述的碲化镉太阳能电池的制备方法，其特征在于：在所述衬底表面具有氟掺杂氧化锡透明导电层，所述衬底和氟掺杂氧化锡透明导电层构成衬底层。