[发明专利]银基键合丝的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510723930.4 申请日: 2015-10-30
公开(公告)号: CN105390404B 公开(公告)日: 2018-11-27
发明(设计)人: 赵碎孟;周钢 申请(专利权)人: 广东佳博电子科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;C22C5/06;C22C5/08;C22F1/14;C22C1/02
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 张文
地址: 510530 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 银基键合丝 制备 方法
【权利要求书】:

1.银基键合丝的制备方法,其特征在于 :所述银基键合丝的制备方法包括以下步骤 :

步骤(一)在纯度高于 99.999% 的 Ag 中添加 2.0%-4.0% Pd、3.0%-5.0% Ce 和4.0%-6.0% Cu混合为合金基材 ;

步骤(二)使用金相砂纸对连铸炉中的坩埚、结晶器以及牵引棒进行抛光后,将步骤(一)中的合金金属材料加入安装有高温分子筛的连铸炉内,然后抽真空升温,使合金基材在真空度为 1.0×10-2 MPa-2×10-3 MPa,温度为 600℃ -700℃的连铸炉内搅拌 30min-1h进行精炼,并采用水温温控设备控制循环冷却水的温度 ;

步骤(三)升温到 1100℃ -1200℃,持续搅拌 10-20 min,将完全熔化好的合金金属熔液注入连铸炉内的储液池保温,以 4-8cm/min 的连铸速度完成对合金金属熔液的连铸,熔铸得到合金银棒材 ;

步骤(四)将步骤(三)中的合金银棒其投入连铸炉中,依次重复步骤(二)和步骤(三),制得直径为8-10 mm合金银棒材 ;

步骤(五)将上述合金银棒材粗拔至直径为0.5mm的金属细丝,然后进行拉丝,即得到拉制好的银基键合丝,拉丝温度为 32-36℃,拉丝环境为 1000 级或 10000 级,将前述金属细丝加工至直径15μm-50μm,拉制速度控制在 500 m/min,速度变化控制在 10%以内 ;

步骤(六)采用超声波将上述拉制好的银基键合丝进行表面清洗后,氮气保护下对银丝进行退火处理,热处理温度为 400℃ -420℃,处理时间为 1.0s-2.5s,退火时张力大小为2.0g-2.8g ;

步骤(七)绕线,使用专用绕线机,将键合银丝定长绕制在两英寸直径的线轴上,绕线速度控制在 50m/min-100m/min,线间距约为 5 mm,分卷长度为 50 米至 1000 米 ;

步骤(八)包装,采用普通包装,常温保存。

2.根据权利要求 1 所述的银基键合丝的制备方法,其特征在于 :所述步骤(二)中采用的高温分子筛为 ZSM-5 分子筛。

3.根据权利要求 1 所述的银基键合丝的制备方法,其特征在于 :所述步骤(二)中水温温控设备控制循环冷却水的温度在 18℃ -22℃。

4.根据权利要求 1 所述的银基键合丝的制备方法,其特征在于 :所述步骤(二)中金相砂纸的目数大于 2000 目。

5.根据权利要求 1 所述的银基键合丝的制备方法,其特征在于 :所述超声波清洗银基键合丝的超声波频率为 60W。

6.根据权利要求 1 所述的银基键合丝的制备方法,其特征在于 :所述拉丝过程中还采用了拉丝用水性润滑剂,浓度为 4%-8%。

7.根据权利要求 1 所述的银基键合丝的制备方法,其特征在于 :所述步骤(四)中对步骤(二)和步骤(三)的重复次数为 3-6 次。

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