[发明专利]一种栅极电镀方法在审
申请号: | 201510718858.6 | 申请日: | 2015-10-29 |
公开(公告)号: | CN105239124A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 陈旭青;周联荣;伍鸿鹄;方超 | 申请(专利权)人: | 成都旭光电子股份有限公司 |
主分类号: | C25D7/00 | 分类号: | C25D7/00;C25D5/00 |
代理公司: | 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) 51222 | 代理人: | 李安霞 |
地址: | 610500 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 栅极 电镀 方法 | ||
技术领域
本发明涉及栅极制造技术领域,特别涉及一种栅极电镀方法。
背景技术:
在栅极的制造过程中,需要对栅极进行电镀。电镀层能控制栅极发射、降低栅极本身工作温度、延长工作年限、抑制栅极放射、提高管内真空度。
栅帽(钼材料)和栅丝(钨材料)的连接处,通常用0.03*4*150mm的钽铌带进行过渡焊接,而钽铌带由于表面过于光滑,在电镀时,镀层结合力不好,易产生起皮现象,从而极大影响栅极的质量和寿命。
传统工艺中,为避免起皮现象的发生,在电镀之前需将钽铌带进行粗化。目前采用有两种方式:(1)酸洗;(2)打毛。
酸洗:栅极在电镀前在氢氟酸中,仅对栅帽钽铌带部位进行酸洗,将钽铌带部位腐蚀。酸洗的缺点:由于钽铌材料的特性不与电解抛光液反应,仅能跟氢氟酸反应,因此在电解抛光完成后,还需进行一次仅对钽铌带部位的氢氟酸清洗,工艺繁琐,操作不便,而栅极在清洗钽铌带时,产生大量的酸雾,腐蚀体贴附到栅丝上,易造成栅极丝花,电镀时,引起栅极丝花或起皮,影响产品质量;
打毛:在栅极电解抛光完成后,仅对栅帽钽铌带部位进行喷砂打毛,将钽铌带部位粗化。打毛的缺点:由于打毛是局部打毛,仅打钽铌带部位,但飞散的砂子难免会打到栅丝,而清洗后的栅极丝宽仅0.205-0.210mm,极易造成栅极断丝脱焊。
发明内容
在大量的实验以及产品的实际装管参数监测过程中,偶然发现在栅极帽以下5mm的部分为栅极的非工作区域。有没有镀层对栅极的参数并没有影响,而钽铌带(宽度为4mm)刚好包含在这个区域内,只要保证本区域表面洁净,不污染电子管即可不影响栅极的性能。因此重新设计电镀的工艺步骤,对其栅帽和钽铌带部位进行遮蔽,不进行电镀,进而减少了将钽铌带进行粗化的步骤,同时避免了钽铌带部位因镀层结合力不好而起皮的问题。
本发明旨在提供一种栅极电镀方法,克服了传统工艺的技术偏见,在不降低产品性能的前提下,既解决了钽铌带表面镀层起皮的问题,又能够减少制造工艺步骤,还能避免多余工艺步骤带来的不良影响。
为达到上述目的,本发明提供一种栅极电镀方法,主要包括以下步骤:
第一步,将栅极进行电解抛光处理;
第二步,将经第一步处理的栅极上的钽铌带安装隔离物;
第三步,将经第二步处理的栅极在电镀液中进行电镀;
第四步,将经第三步处理的栅极上的隔离物拆除。
优选的,所述电镀液的主要成分为:氯铂酸70-90g/L、浓盐酸40-50ml/L、醋酸120-140ml/L、醋酸铅0.4-0.5g/L。
优选的,所述隔离物为与栅极适配的有机玻璃材质模具,所述模具包括螺钉、螺母、盖板,所述盖板为圆形,盖板边缘设置有向下的凸圈,所述凸圈内径与栅极外径适配,所述凸圈的高度为5mm,所述螺钉与栅极的栅帽中心通孔适配,所述螺钉头部外径与栅极内径适配,所述盖板中心设置有与螺钉适配的通孔,所述螺母与螺钉适配。
进一步的,所述模具还配有支座,所述支座为圆柱形,支座直径小于栅极的内径,支座高度大于栅极的高度,支座底部设置有直径大于支座直径的底盘。
进一步的,所述第二步中,首先将所述支座放置在水平面上,然后将所述螺钉倒放在支座上,再将栅极套在支座上,使螺钉的尾部从栅帽的中心通孔中穿出,再将盖板套在栅极上,使螺钉的尾部从盖板的中心孔中穿出,最后用所述螺母将模具连接在栅极上,持取模具,将栅极与模具一起从支座上取下。
优选的,所述第四步中,首先将栅极与模具一起放置在支座上,拆去螺母,再拆去所述盖板,最后取下栅极。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
1.可以省去酸洗或者打毛的工序,能够降低栅极的制造成本,提高生产效率;
2.省去酸洗的工序,可以避免腐因蚀体贴附到栅丝上而造成的栅极丝花或起皮现象;
3.省去打毛的工序,可以避免飞散的砂子造成栅极断丝或者脱焊;
4.配套的支座设计,方便模具的安装和拆卸。
附图说明
图1为本发明的执行电镀操作的流程示意图;
图2为本模具的安装剖面结构示意图;
图中:1-螺钉、2-螺母、3-盖板、4-钽铌带、5-栅帽、6-栅丝、7-支座。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图,对本发明进行进一步详细说明。
如图1所示,本栅极的电镀方法,包括四个步骤。
第一步:将栅极进行电解抛光处理。
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