[发明专利]磁感电阻元件及电子装置在审
申请号: | 201510716861.4 | 申请日: | 2015-10-29 |
公开(公告)号: | CN105280808A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 小泽德郎;郭志彻;青木幸司;木村睦;松本贵明;宫村祥吾 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;鲍俊萍 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感电 元件 电子 装置 | ||
1.一种磁感电阻元件,其特征在于,包含:
一第一电极;
一第二电极;以及
一磁感电阻层,于该第一电极及该第二电极之间外加电压流通电流后,该磁感电阻层的电阻值根据磁场的强度变化;
该磁感电阻层利用非晶氧化铟镓锌薄膜的图案化而形成。
2.根据权利要求1所述的磁感电阻元件,其特征在于,该第一电极及该第二电极利用一金属层的图案化而形成,
该金属层于该磁感电阻层的形成,以及其后的一层间绝缘膜的堆积及图案化之后堆积而成,
该第一电极及该第二电极分别于该层间绝缘膜的任一层间绝缘膜去除部中与该磁感电阻层接触,其中该层间绝缘膜去除部系利用前述图案化而去除。
3.根据权利要求2所述的磁感电阻元件,其特征在于,该第一电极及该第二电极共同于一槽状的层间绝缘膜去除部中与磁感电阻层接触。
4.根据权利要求2或3所述的磁感电阻元件,其特征在于,更包含一栅电极,该栅电极是于形成该磁感电阻层之前形成;该磁感电阻层,隔着一栅绝缘膜设置于该栅电极的上方。
5.一种电子装置,其特征在于,包含权利要求1至4中任一项所述的磁感电阻元件以及一薄膜晶体管,该薄膜晶体管包含一漏电极、一源电极、一栅电极以及一通道层,其中该通道层于该漏电极及该源电极之间,以及该栅电极及该源电极之间外加电压后,流通相应该电压的电流;
该通道层是利用前述非晶氧化铟镓锌薄膜的图案化,与该磁感电阻层同时形成。
6.根据权利要求5所述的电子装置,其特征在于,包含该磁感电阻元件以及该薄膜晶体管的一磁感电阻元件用开关元件的一磁性测定单元配置为矩阵状;其中该磁感电阻元件用开关元件用以控制外加于该磁感电阻元件的该第一电极及该第二电极之间的电压。
7.根据权利要求6所述的电子装置,其特征在于,该磁性测定单元设置于配置为矩阵状的显示像素单元之间,其中该显示像素单元包含:一显示元件以及控制外加于该显示元件的电压的该薄膜晶体管的一显示元件用开关元件。
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