[发明专利]一种硅基可调偏振旋转器件在审
| 申请号： | 201510716751.8 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105204113A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 郭德汾;储涛;候康;张华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所;青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/126;G02B27/28;G02F1/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可调 偏振 旋转 器件 | ||
1.一种硅基可调偏振旋转器件，器件主要包含三个功能器件：对称偏振旋转分离器件(101)；可调相移臂(102)和反向的对称偏振旋转分离器件(103)，其中对称偏振旋转分离器件(101)包括绝热的耦合器或非对称双层taper(104)加对称的分支(106)；可调相移臂(102)包括热调或电调相移部分(107)；反向的对称偏振旋转分离器件(103)包括绝热的耦合器或反向的对称分支(108)加反向的非对称双层taper(109)，所述硅基可调偏振旋转器件输入TE0或TM0偏振态，输出TE0和TM0偏振态的功率比连续可调。
2.根据权利要求1所述的硅基可调偏振旋转器件，其特征在于，对称偏振旋转分离器件(101)把输入的TE0或TM0分为输出的两个振幅相等、相位相同或相反的TE0。
3.根据权利要求1所述的硅基可调偏振旋转器件，其特征在于，可调相移臂(102)利用硅波导的热光效应或利用硅波导的电光效应实现，调节输入的两个TE0相对相位。
4.根据权利要求1所述的硅基可调偏振旋转器件，其特征在于，反向的对称偏振旋转分离器件(103)是一个反向的对称偏振旋转分离器件，把输入的两个振幅相等、相位相同或相反的TE0合成输出TE0或TM0。
5.根据权利要求4所述的硅基可调偏振旋转器件，其特征在于，热调或电调相移部分(107)的电调采用PIN结构或者反向PN结构，调节输入的两个TE0相对相位。
6.根据权利要求1-5任一所述的硅基可调偏振旋转器件，其特征在于，该可调偏振旋转器件采用硅绝缘体(SOI)材料制备，由硅波导层(301)、下二氧化硅包层(302)、衬底硅(303)、上二氧化硅包层(304)和平板波导层(305)组成。
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