[发明专利]一种用于密封及重复定位的物镜保护窗口

权利要求书

1.一种用于密封及重复定位的物镜保护窗口，其特征在于，置于光刻物镜的始端或末端，包括：窗口镜组(1)、级联镜组(2)、高精度定位机构(3)；

所述窗口镜组(1)由内而外依次包括窗口光学镜片(1-1)、窗口镜框(1-2)、窗口镜框下基准面(1-3)、窗口镜框螺钉间隙孔(1-4)；所述窗口镜框(1-2)上设有密封胶(1-5)、窗口镜框溢胶槽(1-6)、高精度定位机构安装螺纹孔(1-7)；

所述级联镜组(2)由内而外依次包括窗口级联镜框(2-1)、级联镜框级联螺纹孔(2-3)；所述窗口级联镜框(2-1)上设有辅助定位块(2-2)和级联镜框辅助定位块安装螺纹孔(2-4)；其中辅助定位块(2-2)包括V型定位块(2-2-1)、凹球型定位块(2-2-2)、平面型定位块(2-2-3)；窗口镜组(1)的定位形式上采用三处沿着圆周方向120°均布的球头-V型槽、球头-凹型球窝、球头-平面相配合的立体式定位方式；

所述高精度定位机构(3)由上至下依次包括压紧盖(3-1)、压缩弹簧(3-4)、球头杆(3-5)；所述压缩弹簧(3-4)和球头杆(3-5)的外侧设有固定套筒(3-2)；球头杆(3-5)上设有螺纹圆柱销(3-3)、定位机构腰形限位孔(3-7)和定位机构工具接口(3-8)；压紧盖(3-1)上设有定位机构外端固定螺纹(3-6)；高精度定位机构(3)内的球头杆(3-5)可沿机构轴向上高精度位移。

2.根据权利要求1所述的用于密封及重复定位的物镜保护窗口，其特征在于，窗口光学镜片(1-1)与窗口镜框(1-2)之间通过密封胶(1-5)圆周方向均匀涂抹进行密封；窗口镜组(1)与级联镜组(2)之间通过两个镜框基准面的紧密贴合实现密封。

3.根据权利要求1所述的用于密封及重复定位的物镜保护窗口，其特征在于，其可利用窗口镜组(1)上的高精度定位机构(3)与级联镜组(2)上的辅助定位块(2-2)配合，采用三处沿着圆周方向120°均布的球头-V型槽、球头-凹型球窝、球头-平面相配合实现窗口镜组(1)的五个自由度约束，最后通过窗口镜组(1)与级联镜组(2)之间两个镜框基准面的紧密贴合实现最终六个自由度约束，进而实现窗口镜组(1)的高精度重复定位功能。

4.根据权利要求1所述的用于密封及重复定位的物镜保护窗口，其特征在于，所述的窗口光学镜片(1-1)与窗口镜框(1-2)之间通过密封胶(1-5)圆周方向均匀涂抹是通过窗口镜框溢胶槽(1-6)进行控制的，沿着上述圆周方向厚度一致，窗口镜框溢胶槽(1-6)存储多余密封胶，使得密封胶沿着窗口光学镜片(1-1)的均匀性，从而保证窗口光学镜片(1-1)的均匀良好面形。

5.根据权利要求1所述的用于密封及重复定位的物镜保护窗口，其特征在于，所述的高精度定位机构(3)可沿机构轴向位移，是通过压缩弹簧(3-4)、定位机构腰形限位孔(3-7)共同提供的位移空间，精度的保证是通过固定套筒(3-2)内壁与球头杆(3-5)上部严格的配合公差实现的。

6.根据权利要求5所述的用于密封及重复定位的物镜保护窗口，其特征在于，所述的高精度定位机构(3)上加工有定位机构外端固定螺纹(3-6)和定位机构工具接口(3-8)；利用扳手作用在定位机构工具接口(3-8)上，将定位机构外端固定螺纹(3-6)旋入高精度定位机构安装螺纹孔(1-7)中，从而将高精度定位机构(3)安装到窗口镜组(1)上。

7.根据权利要求5所述的用于密封及重复定位的物镜保护窗口，其特征在于，所述的高精度定位机构(3)上加工的定位机构腰形限位孔(3-7)，螺纹圆柱销(3-3)穿过定位机构腰形限位孔(3-7)安装到球头杆(3-5)的螺纹中，螺纹圆柱销(3-3)通过定位机构腰形限位孔(3-7)的固定方向和长度实现球头杆(3-5)轴向伸缩和限位功能。