[发明专利]减少寄生电容的液晶显示面板以及其制作方法在审
| 申请号: | 201510707514.5 | 申请日: | 2015-10-27 |
| 公开(公告)号: | CN105242468A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
| 发明(设计)人: | 徐洪远 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 减少 寄生 电容 液晶显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种制造液晶显示面板的方法,其包括下列步骤:
蚀刻形成于玻璃基板上的第一金属层于以形成薄膜晶体管的栅极和扫描线;
形成所述薄膜晶体管的源极和漏极;
其特征在于:所述方法另包含:
在所述薄膜晶体管的源极和漏极之上形成依序形成钝化层和彩色膜层;
蚀刻所述钝化层和所述彩色膜层以形成贯穿所述钝化层和所述彩色膜层的第一通孔以及第二通孔;
在所述彩色膜层上依序形成透明导电层和第二金属层;以及
蚀刻所述透明导电层和所述第二金属层,以在所述透明导电层形成第一透明导电电极区和第二透明导电电极区,在所述第二金属层形成数据线。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述第一透明导电电极区和所述第二透明导电电极分别通过所述第一通孔和所述第二通孔连接所述薄膜晶体管的源极和漏极,且所述第一透明导电电极区和所述第二透明导电电极区不连接。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述蚀刻所述透明导电层和所述第二金属层的步骤包含:
使用半色调掩膜蚀刻所述透明导电层和所述第二金属层,其中所述半色调掩膜蚀具有不同透光率的区域,以同时形成被所述数据线覆盖的所述第一透明导电电极区、被所述数据线覆盖的所述第二透明导电电极区和未被所述数据线覆盖的所述第二透明导电电极区。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:在所述蚀刻形成于所述玻璃基板上的第一金属层于以形成薄膜晶体管的栅极和扫描线的步骤之后,所述方法另包含:
在所述薄膜晶体管的栅极上形成绝缘层;以及
形成半导体层于所述绝缘层上。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述彩色膜层包含红色膜层、绿色膜层和蓝色膜层。
6.一种液晶显示面板,其包含:
玻璃基板;
扫描线,由第一金属层构成且位于所述玻璃基板上,用来传递扫描信号;
薄膜晶体管,位于所述玻璃基板上,其包含栅极、位于所述栅极上的绝缘层、位于绝缘层上的半导体层,以及位于所述半导体层及所述绝缘层上的源极和漏极;
其特征在于:所述液晶显示面板另包含:
钝化层,位于所述薄膜晶体管和所述扫描线上;
彩色膜层,位于所述钝化层上,用于滤出不同颜色的光线;
透明导电层,位于所述彩色膜层之上,所述透明导电层通过贯穿所述钝化层和所述彩色膜层的第一通孔以及第二通孔与所述薄膜晶体管的源极和漏极连接;及
数据线,由第二金属层构成,位于所述透明导电层上,用来传递数据信号。
7.根据权利要求6所述的液晶显示面板,其特征在于:所述透明导电层包含:
第一透明导电电极区,通过所述第一通孔与所述薄膜晶体管的源极连接;及
第二透明导电电极区,通过所述第二通孔与所述薄膜晶体管的漏极连接,且所述第一透明导电电极区和所述第二透明导电电极区不连接。
8.根据权利要求6所述的液晶显示面板,其特征在于:所述液晶显示面板包含像素电极,所述像素电极是指未被所述数据线覆盖的所述第二透明导电电极区。
9.根据权利要求6所述的液晶显示面板,其特征在于:所述彩色膜层包含红色膜层、绿色膜层和蓝色膜层。
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