[发明专利]线栅偏振器、包括其的显示面板及其制造方法

权利要求书

1.线栅偏振器，包括：

基板；

定位成在所述基板上突出的多个平行的导线图案；和

沿着所述导线图案的上部表面定位的氧化防止层，

其中所述氧化防止层由包括铝和氟的化合物形成。

2.如权利要求1所述的线栅偏振器，其中所述导线图案包括选自由铝 (Al)、铬(Cr)、银(Ag)、铜(Cu)、镍(Ni)、钴(Co)、和钼(Mo)组成的组的一种 金属或其合金。

3.如权利要求1所述的线栅偏振器，其中所述导线图案包括：

位于所述基板上的第一导线图案；和

位于所述第一导线图案上的第二导线图案。

4.如权利要求1所述的线栅偏振器，进一步包括：

在所述导线图案和所述氧化防止层之间的硬掩模。

5.如权利要求1所述的线栅偏振器，进一步包括：

在所述基板上的位于所述导线图案之间的区域中的反射层。

6.显示面板，包括：

基板；

定位成在所述基板上突出的多个导线图案；

位于所述导线图案上的氧化防止层；

位于所述氧化防止层上且在第一方向上延伸的栅极线；

与所述栅极线绝缘且在第二方向上延伸的数据线；

电连接至所述栅极线和所述数据线的薄膜晶体管；和

电连接至所述薄膜晶体管的像素电极，

其中所述氧化防止层由包括铝和氟的化合物形成。

7.如权利要求6所述的显示面板，进一步包括：

在所述基板上的位于所述导线图案之间的区域中的反射层，

其中所述导线图案位于对应于所述像素电极的开口区域中和所述反射 层位于不对应于所述像素电极的非开口区域中。

8.如权利要求6所述的显示面板，进一步包括：

在所述氧化防止层上的保护层。

9.制造线栅偏振器的方法，包括：

在基板上形成导线图案层；

通过将所述导线图案层图案化而形成导线图案；和

在所述形成导线图案之后原位形成氧化防止层。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述形成导线图案在真空腔室中进 行。

11.如权利要求9所述的方法，其中所述形成氧化防止层通过在氟化气 体气氛下的等离子体处理进行。

12.如权利要求9所述的方法，进一步包括：

在所述形成氧化防止层之后，

在所述氧化防止层上形成保护层。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述形成保护层通过涂布方法进 行。