[发明专利]烘烤炉在审
| 申请号： | 201510687573.0 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN105206720A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 刘开欣;谢楚盛;叶国梁 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 朱绘;徐彦圣 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烤炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种烘烤炉，用于对玻璃基板进行烘烤，其特征在于，所述烘烤炉包括炉体以及位于所述炉体内部的膛室；
所述膛室外设置有传感器，用于感应所述膛室的入口处和出口处基板的出入。
2.根据权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述膛室的入口和出口为同一个出入口；
所述出入口处设置有第一传感器和第二传感器，且所述第二传感器比所述第一传感器更靠近所述出入口。
3.根据权利要求2所述的烘烤炉，其特征在于，所述第一传感器和所述第二传感器均设置在所述出入口的上方。
4.根据权利要求2所述的烘烤炉，其特征在于，所述第一传感器和所述第二传感器均为光传感器。
5.根据权利要求2所述的烘烤炉，其特征在于，所述出入口处还设置有密闭门。
6.根据权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述膛室的入口和出口分别位于所述炉体的两侧；
所述入口处设置有第一传感器，所述出口处设置有第二传感器。
7.根据权利要求6所述的烘烤炉，其特征在于，所述第一传感器设置在所述入口的上方，所述第二传感器设置在所述出口的上方。
8.根据权利要求6所述的烘烤炉，其特征在于，所述第一传感器和所述第二传感器均为光传感器。
9.根据权利要求6所述的烘烤炉，其特征在于，所述入口处和所述出口处均设置有密闭门。
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