[发明专利]Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶及其制造方法有效
| 申请号： | 201510684504.4 | 申请日： | 2012-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN105239042B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 森下雄斗;荻野真一;中村祐一郎 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/07;C22C30/00;C22C30/02;C22F1/10;C22F1/16;C22F1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | co cr pt 合金 溅射 及其 制造 方法 | ||
1.一种Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，将Co-Cr-Pt-B型合金铸锭加热至800℃～1100℃，以小于15％的压下率反复进行热锻或热轧，然后在2小时以内骤冷至-196℃～100℃，进一步对其进行机械加工而制成靶。
2.如权利要求1所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，对Co-Cr-Pt-B型合金铸锭进行热锻或热轧后，进行水冷。
3.如权利要求1所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，对Co-Cr-Pt-B型合金铸锭进行热锻或热轧后，利用鼓风扇进行骤冷。
4.如权利要求1所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，对Co-Cr-Pt-B型合金铸锭进行热锻或热轧后，利用液氮进行骤冷。
5.一种Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，通过权利要求1～4中任一项所述的制造方法来制造Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶，所述Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶中，100μm×100μm面积(视野)内的富B相中的0.1～20μm的裂纹数为10个以下，相对于溅射面，水平方向的最大磁导率为20以下。
6.如权利要求5所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，所述Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶中，Cr为1～40原子％，Pt为1～30原子％，B为0.2～25原子％，剩余部分由Co及不可避免的杂质构成。
7.如权利要求6所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，所述Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶中，还含有0.5原子％以上且20原子％以下的选自Cu、Ru、Ta、Pr、Nb、Nd、Si、Ti、Y、Ge、Zr中的一种以上元素作为添加元素。
8.如权利要求5～7中任一项所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，所述Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶中，相对于溅射面，水平方向的矫顽力(Hc)为35Oe以上。
9.如权利要求5～7中任一项所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，所述Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的相对密度为95％以上。
10.如权利要求8所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，所述Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的相对密度为95％以上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉坤日矿日石金属株式会社，未经吉坤日矿日石金属株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510684504.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
