[发明专利]磁性计测装置、气室以及它们的制造方法在审
| 申请号: | 201510683363.4 | 申请日: | 2015-10-20 | 
| 公开(公告)号: | CN105527591A | 公开(公告)日: | 2016-04-27 | 
| 发明(设计)人: | 藤井永一;长坂公夫;宫坂光敏 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 | 
| 主分类号: | G01R33/032 | 分类号: | G01R33/032 | 
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆;梁韬 | 
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 磁性 装置 以及 它们 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及磁性计测装置、气室、磁性计测装置的制造方法以及气室 的制造方法。
背景技术
已知一种光抽运(opticalpumping)式磁性计测装置,其对封装有碱 金属气体的气室照射直线偏振光,根据偏振面的旋转角测量磁场。专利文 献1中公开了一种具备气室的磁性计测装置,该气室将在玻璃管的中空部 封装有碱金属的安瓿(ampoule)容纳在由玻璃组成的室内,通过向其安 瓿照射激光而在安瓿(玻璃管)上形成贯通孔,使安瓿内的碱金属蒸发, 从而使其蒸汽(气体)充满室内。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2012-183290号公报
发明内容
不过,当气室内的碱金属的气体浓度较低或不稳定时,会出现磁性计 测装置的性能下降从而无法准确计测的情况、磁性计测装置不起作用的情 况。因此,期望一种气室和磁性计测装置及其制造方法,通过抑制气室内 碱金属气体的浓度波动(ばらつき,偏差)而能够进行稳定的制造,并能 够进行高精度计测。
本发明用于解决上述技术问题中的至少一部分,可通过以下方式或应 用例实现。
[应用例1]本应用例的磁性计测装置是一种计测磁场的磁性计测装置, 其特征在于,包括:气室,所述气室具备第一室、第二室、以及用于连通 所述第一室和所述第二室的连通孔,在所述第一室和所述第二室中填充有 碱金属的气体,在所述第二室中配置有所述碱金属的固体和液体中的至少 一种。
根据本应用例的构成,在第二室中配置有碱金属的固体和液体中至少 一种。因而,与未配置碱金属的固体、液体的情况相比,能够向第二室稳 定地供给碱金属蒸发后的气体,同时当第二室中产生不必要的气体时,不 仅碱金属的气体,碱金属的固体、液体也有助于与不必要的气体发生反应, 因此能更快地减少第二室内的不必要的气体。由此,能够抑制不必要的气 体扩散至与第二室连通的第一室,并且能更多地增加从第二室流入第一室 的碱金属的气体的量。因此,在第二室和第一室中,能更快地结束不必要 的气体与碱金属的气体之间的反应,使碱金属的气体的浓度稳定。结果, 可提供通过抑制气室内碱金属气体的浓度降低、波动而能够进行稳定制造 并能够进行高精度计测的气室和磁性计测装置。
[应用例2]在上述应用例的磁性计测装置中,优选地,在所述第二室 中配置有玻璃片,所述碱金属的固体和液体中的至少一种附着在所述玻璃 片上。
根据本应用例的构成,由于配置在第二室中的玻璃片上附着有碱金属 的固体和液体中至少一种,因此即使从玻璃片产生不必要的气体,也可通 过碱金属的气体以及碱金属的固体或液体与不必要的气体发生发应来减 少第二室内的不必要的气体。另外,在玻璃片上附着有碱金属的固体或液 体的部分,由于其表面被碱金属的固体或液体覆盖,因此与未附着碱金属 的固体、液体的情况相比,能够抑制产生新的不必要的气体。由此,能够 抑制不必要的气体扩散至与第二室连通的第一室,并且能更快地稳定第二 室和第一室内的碱金属的气体的浓度。
[应用例3]在上述应用例的磁性计测装置中,优选地,所述第一室和 所述第二室由第一玻璃构成,所述玻璃片由与所述第一玻璃不同的第二玻 璃构成。
根据本应用例的构成,在第二室中即使从第一玻璃和第二玻璃(玻璃 片)产生不必要的气体,也可通过碱金属的固体或液体与不必要的气体发 生反应来减少第二室内的不必要的气体,因此能够抑制不必要的气体扩散 至第一室。另外,在第一室中即使从第一玻璃产生不必要的气体而与碱金 属气体发生反应、碱金属气体减少的情况下,由于配置在第二室中的碱金 属的固体或液体蒸发而扩展至第一室,因此也能使第一室中的碱金属的气 体的浓度稳定。
[应用例4]在上述应用例的磁性计测装置中,优选地,所述第一玻璃 的厚度为1mm~5mm,所述第二玻璃的厚度为0.1mm~0.5mm。
根据本应用例的构成,由于第二玻璃的厚度大约为第一玻璃的厚度的 1/10,因此例如通过照射激光、施加冲击,第二玻璃能够比第一玻璃更容 易地破坏。因而,通过将封装有碱金属的、由第二玻璃组成的安瓿配置在 由第一玻璃组成的气室的第二室中,选择性加工并破坏安瓿,能够将碱金 属的固体和液体中至少一种配置在第二室中,并使碱金属蒸发后的蒸汽从 第二室扩散,充填第一室。
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