[发明专利]一种基于MEMS工艺的电磁力喷头

权利要求书

1.一种基于MEMS工艺的电磁力喷头，其特征在于，包括导电线圈（1）、软磁性材料（2）、硅材料（3）、控制芯片（4）、导电流体（5）、电极对（6）；所述导电线圈（1）置于软磁性材料（2）的内部，所述硅材料（3）包覆软磁性材料（2），所述导电线圈（1）的正负极分别与电极对（6）的正负极连接，所述控制芯片（4）置于硅材料（3）顶部，所述导电流体（5）从贯穿控制芯片（4）、硅材料（3）、软磁性材料（2）的喷孔底部流出，所述电极对（6）贯穿软磁性材料（2）、硅材料（3）与顶部的控制芯片（4）连接，实现对导电流体（5）的微流动控制。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS工艺的电磁力喷头，其特征在于，所述导电线圈（1）包括两个正极接线端（1-1）、两个负极接线端（1-2）；喷孔左端线圈由若干导电线圈（1）串联而成，喷孔右端线圈由若干导电线圈（1）串联而成，通电后左右两组导电线圈（1）形成左S右N的同向电磁极；左端串联而成的导电线圈（1）正极接线端（1-1）与电极对（6）的正极相连，左端串联而成的导电线圈（1）负极接线端（1-2）与电极对（6）的负极相连；右端串联而成的导电线圈（1）正极接线端（1-1）与电极对（6）的正极相连，右端串联而成的导电线圈（1）负极接线端（1-2）与电极对（6）的负极相连，电磁极与电场共用一对正负电极。

3.根据权利要求1所述的基于MEMS工艺的电磁力喷头，其特征在于，所述软磁性材料（2）包覆导电线圈（1），通电后形成的电磁场被约束在软磁性材料（2）内部，不会泄露到软磁性材料（2）外部；软磁性材料（2）中间有喷孔流通导电流体（5），喷孔左右有导电线圈（1）组成的电磁极，喷孔前后有电极对（6）组成的电场。

4.根据权利要求1所述的基于MEMS工艺的电磁力喷头，其特征在于，所述控制芯片（4）中间有喷孔流通导电流体（5），底部连接硅材料（3），顶部连接外部电源，内置的电路控制电磁力的大小；控制芯片（4）的正负极通过硅材料（3）和软磁性材料（2）与电极对（6）连接，实现导电通路。

5.根据权利要求1所述的基于MEMS工艺的电磁力喷头，其特征在于，所述电极对（6）位于喷孔前后两端，与导电线圈（1）形成的电磁极在同一个平面内正交垂直分布，通电后产生的电磁场作用于导电流体（5），形成竖直向下的电磁力，驱动导电流体（5）完成喷射过程。