[发明专利]一种片盒精度的控制装置及控制方法

说明书

本发明公开一种片盒精度的控制装置，包括运动单元、导向单元、动力单元及检测单元，当片盒被放置在片库上时，所述运动单元沿所述导向单元压缩所述动力单元至所述检测单元的触发范围，根据所述检测单元的触发情况判断所述片盒是否正确地放置于所述片库上。

技术领域

本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种片盒精度的控制装置及控制方法。

背景技术

微电子技术的发展促进了计算机技术、通信技术和其它电子信息技术的更新换代，在信息产业革命中起着重要的先导和基础作用，光刻机是微电子器件制造业中不可或缺的工具。硅片传输分系统是先进封装光刻机的重要组成子系统。在硅片传输分系统中，片库作为物料与设备之间的直接接口，必须满足高效、高自动化、高安全性的要求。

随着市场的需求，光刻机对于各个分系统误操作的容忍性越来越低；在硅片传输分系统中，把需要进行处理的片盒放置于片库之上的操作主流是采用人工进行操作，少数采用机器进行操作。人工的缺点是共性缺点，在受到各方面因素的影响时，人工放置片盒容易发生失误；机器的缺点是结构复杂，成本较高，且放置片盒时由于重复性问题，依旧可能发生偏差，造成片盒放置偏差；片盒的偏差如果没有被及时检测出来，并予以矫正，在后续的操作中，将会极大的影响分系统运转效率及安全性。因此，在片库中增加片盒放置状态监测功能是有必要的。中国专利CN201110233567.x中介绍了一个片盒放置状态检测功能的机构，但其放置功能采用的是单点光电传感器检测方式，由于片盒在放置于片库上时，会存在各种不同形式的偏差，如果片盒正好处于跨区或侧置等状态，该光电传感器将无法检测，放置错误的片盒将会进入硅片传输分系统进行操作。

发明内容

为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明公开一种能自动检测片盒位置是否正确的精度控制装置。

为了实现上述发明目的，本发明公开一种片盒精度的控制装置，包括运动单元、导向单元、动力单元及检测单元，当片盒被放置在片库上时，所述运动单元沿所述导向单元压缩所述动力单元至所述检测单元的触发范围，根据所述检测单元的触发情况判断所述片盒是否正确地放置于所述片库上。

更进一步地，该片盒精度控制装置呈三角型分布于该片库所在的平面上。

更进一步地，该运动单元为一微型行程单元，该动力单元为为一压缩弹簧，该导向单元为一直线轴承。

更进一步地，该直线轴承安装于一支撑座上。

更进一步地，该支撑座与该检测单元之间设置一蝶形环扣。

本发明同时公开一种片盒精度的控制方法，包括：当该片盒被放置在片库上时，该片盒受重力压缩一运动单元至一检测单元的触发范围，根据该三个检测单元的触发情况判断该片盒是否正确地放置于该片库上。

更进一步地，该运动单元经一压缩弹簧沿一直线轴承至该检测单元的触发范围。

更进一步地，该三个检测单元呈三角型分布于该片库所在的平面上。

与现有技术相比较，本发明提供的精度控制装置主要由运动单元，动力单元，导向单元，检测单元组成。片盒放置是否有误通过检测单位的触发与否来进行判断，片盒的X/Y向放置精度通过3个机械式传感器三点定面来进行检测，通过本发明，可以完善解决片盒放置精度难以控制的问题，提高了传输分系统的效率，可靠性及安全性。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1是本发明所提供的片库的结构示意图；

图2是本发明所提供的片库的剖视图；

图3是本发明所提供的片盒精度控制装置的结构示意图；