[发明专利]显影装置及光刻设备

权利要求书

1.一种显影装置，包括显影腔室，所述显影腔室用于容纳待显影的基板，其特征在于，所述显影装置还包括加热机构；

所述加热机构包括多个加热件，多个所述加热件设置在所述显影腔室内，以对显影腔室内的位于所述加热机构上方或下方的基板的不同显影位置进行加热；

所述显影装置还包括控制机构，所述控制机构能够根据所述基板在未受热的情况下所述基板上各个显影位置的显影速度控制各个所述加热件的开启状态和/或加热温度，以使得在显影过程中所述基板的多个显影位置的显影速度相同；

所述显影装置还包括厚度测量机构，所述厚度测量机构用于分别在显影前和显影后测量所述基板上各个显影位置的光刻胶的厚度，并将各个显影位置的位置信息及其在显影前和显影后的光刻胶的厚度提供给所述控制机构；

所述控制机构能够根据所述基板上各个显影位置在显影前的光刻胶厚度和显影后的光刻胶厚度计算各个显影位置的光刻胶的溶解速度，作为所述未受热的情况下所述基板上对应的显影位置的显影速度。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括控制机构，所述控制机构能够根据所述基板上各个显影位置的图形形状控制各个所述加热件的开启状态和/或加热温度，以使得在显影过程中所述基板的多个显影位置的显影速度相同。

3.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述基板的不同显影位置包括：基板的显示区和显示区周围用于设置栅极驱动电路的驱动区；所述加热机构包括两个独立控制的加热件，这两个加热件分别用于对位于加热机构上方的基板的显示区和显示区周围的驱动区进行加热。

4.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影腔室具有入口和出口，所述显影装置还包括传输机构，用于将所述基板从所述显影腔室的入口传输至所述显影腔室的出口。

5.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括位置检测机构，该位置检测机构用于在所述传输机构传输所述基板时，实时检测对应于所述加热件的显影位置在所述基板上的位置信息；

所述控制机构能够根据所述位置检测机构所测得的显影位置的位置信息获取预先确定的所述基板在未受热的情况下相应的显影位置的显影速度。

6.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述传输机构包括位于所述显影腔室内的多个间隔设置的传输滚轮，所述加热机构位于所述相邻两个传输滚轮之间。

7.根据权利要求6所述的显影装置，其特征在于，多个所述加热件沿平行于所述传输滚轮的轴线的方向依次排列。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的显影装置，其特征在于，所述加热件为红外加热器。

9.一种光刻设备，其特征在于，包括权利要求1至8中任意一项所述的显影装置。