[发明专利]检查装置及检查装置的控制方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，具有：

拍摄装置，

投影装置，在所述拍摄装置的视野内投影图案图像，

信息处理装置，使用在从所述投影装置投影了图案图像的状态下通过所述拍摄装置拍摄的图像，进行包括在所述拍摄装置的视野内的一个以上的物体的检查，以及

控制装置，控制所述拍摄装置及所述投影装置；

在所述拍摄装置的视野内，在因其他的物体的反射面反射的光会导致发生二次反射的二次反射物体存在的情况下，

所述控制装置变更所述拍摄装置的视野内的所述二次反射物体的位置以使所述二次反射物体到达所述拍摄装置的视野内的中心位置后，将从所述投影装置投影的图案图像的投影范围变更为该视野的中心的规定范围以使光不会到达所述反射面，在投影了变更投影范围后的图案图像的状态下进行通过所述拍摄装置拍摄所述二次反射物体的控制。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，还具有：

存储装置，存储检查程序，所述检查程序包括用于从成为检查的对象的多个物体内确定二次反射物体的信息；

所述控制装置根据所述检查程序，判断在所述拍摄装置的视野内是否存在二次反射物体。

3.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

所述检查程序包括拍摄二次反射物体时的拍摄条件的信息，

所述控制装置根据所述拍摄条件的信息，变更在拍摄所述二次反射物体时投影的图案图像的投影范围。

4.如权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其特征在于，还具有：

图案图像存储部，预先存储投影范围互不相同的多个图案图像的数据；

在所述拍摄装置的视野内存在所述二次反射物体的情况下，所述控制装置从存储于所述图案图像存储部的所述多个图案图像中，选择虽然将所述二次反射物体包括在投影范围内但是并未将所述反射面包括在投影范围内的图案图像，将从所述投影装置投影的图案图像变更为选择的所述图案图像。

5.如权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其特征在于，

在所述拍摄装置的视野内存在所述二次反射物体的情况下，

所述控制装置根据所述二次反射物体或所述反射面的位置及尺寸的信息，生成虽然将所述二次反射物体包括在投影范围内但是并未将所述反射面包括在投影范围内的图案图像，将从所述投影装置投影的图案图像变更为生成的所述图案图像。

6.如权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其特征在于，

在所述拍摄装置的视野内存在所述二次反射物体的情况下，从所述投影装置投影的图案图像的投影范围是在所述拍摄装置的视野内不存在所述二次反射物体的情况下从所述投影装置投影的通常的图案图像的投影范围中除去所述反射面的部分后的范围。

7.一种检查系统，其特征在于，具有检查装置以及训练装置，

所述检查装置具有：

拍摄装置，

投影装置，在所述拍摄装置的视野内投影图案图像，

信息处理装置，使用在从所述投影装置投影了图案图像的状态下通过所述拍摄装置拍摄的图像，进行包括在所述拍摄装置的视野内的一个以上的物体的检查，以及

控制装置，控制所述拍摄装置及所述投影装置；

所述训练装置生成用于定义所述检查装置的动作的检查程序；

所述检查程序包括用于确定因其他的物体的反射面反射的光会导致发生二次反射的二次反射物体的信息以及在拍摄二次反射物体时的拍摄条件的信息；

在所述拍摄装置的视野内，在因其他的物体的反射面反射的光会导致发生二次反射的二次反射物体存在的情况下，所述控制装置变更所述拍摄装置的视野内的所述二次反射物体的位置以使所述二次反射物体到达所述拍摄装置的视野内的中心位置后，根据所述检查程序，将从所述投影装置投影的图案图像的投影范围变更为该视野的中心的规定范围，以使光不会到达所述反射面，在投影了变更了投影范围的图案图像的状态下进行通过所述拍摄装置拍摄所述二次反射物体的控制。