[发明专利]一种外腔调谐激光器

权利要求书

1.一种外腔调谐激光器，其特征在于：包括用于对激光进行波长增益的激光增益芯片、对激光光束进行准直的准直透镜、对准直后的激光分光产生一级衍射光和零级衍射光的光栅、对一级衍射光进行聚光透射的聚焦透镜、用于对聚光透射后的一级衍射光进行反射的反射镜、以及用于带动反射镜进行旋转的电机；

其中，反射镜上还设置有镀金属细线区域图案。

2.根据权利要求1所述的外腔调谐激光器，其特征在于：激光增益芯片由半导体法布里泊罗波导构成，其后端面设置有高反射（HR）膜，其前端面设置有减反射（AR）膜。

3.根据权利要求2所述的外腔调谐激光器，其特征在于：激光增益芯片的增益中心波长为810nm，其增益波长可调范围为780nm-840nm。

4.根据权利要求1所述的外腔调谐激光器，其特征在于：光栅设置为闪耀光栅或者全息光栅。

5.根据权利要求4所述的外腔调谐激光器，其特征在于：闪耀光栅为1200线/毫米的闪耀光栅。

6.根据权利要求1所述的外腔调谐激光器，其特征在于：镀金属细线区域图案为采用线宽为20微米的镀金属细线构成图案而成。

7.根据权利要求1所述的外腔调谐激光器，其特征在于：反射镜采用硅材料作为衬底，其中，包括蓝宝石、石英玻璃、硅、亚克力胶，并且，其镀金属细线区域图案为采用金、或银、或铝金属薄膜镀膜而成。

8.根据权利要求1所述的外腔调谐激光器及其调谐方法，其特征在于：电机与反射镜采用粘合的方式连接固定，并且，电机选取伺服电机或步进电机。

9.根据权利要求1-7任一所述的外腔调谐激光器及其调谐方法，其特征在于：反射镜上设置的镀金属细线区域图案为采用两条平行的金属曲线或者单条金属曲线所构成的图案。