[发明专利]一种低温热导率测量方法在审
| 申请号： | 201510642265.6 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105241918A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 熊林;黄河清;林熙 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 朱红涛 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 温热 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于3ω方法的低温热导率测量方法，可以对固体衬底或薄膜在常温或低温下的热导率进行测量，其特征是：通过改变衬底上薄膜的厚度多次测量，用差分方法得到薄膜的纵向热导率，有效避免了薄膜与衬底界面上的边界热阻导致的测量值偏差。
2.根据权利要求1所述的低温热导率测量系统，其特征是：通过在测量用锁相放大器前增加一个前置放大器将信号放大，有效提高了测量精度。
3.根据权利要求1所述的低温热导率测量系统，其特征是：通过单片机控制数字电位器调节前置放大器放大倍数的方法，实现了全自动测量。
4.根据权利要求1所述的低温热导率测量系统，其特征是：通过采用磁性材料坡莫合金，将测量温区扩展至极低温。
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