[发明专利]一种基于MEH‑PPV的聚合物薄膜电双稳器件及其制作方法有效
| 申请号: | 201510629157.5 | 申请日: | 2015-09-28 |
| 公开(公告)号: | CN105336858B | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
| 发明(设计)人: | 韩慧珍;胡煜峰;娄志东;侯延冰;滕枫 | 申请(专利权)人: | 北京交通大学 |
| 主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/00 |
| 代理公司: | 北京卫平智业专利代理事务所(普通合伙)11392 | 代理人: | 董琪 |
| 地址: | 100044 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 meh ppv 聚合物 薄膜 电双稳 器件 及其 制作方法 | ||
1.一种基于MEH-PPV的聚合物薄膜电双稳器件,其特征在于,包括:从下至上依次设置的基底(1)、功能层、电极层(4),
所述功能层为单层结构或双层结构;
所述单层结构为混合层(5);混合层(5)的材质为PEG和MEH-PPV的混合物,其溶剂为环己酮,其中PEG与MEH-PPV的质量比为1:1,溶于1ml环己酮;
所述双层结构为绝缘层(3)、半导体层(2);双层结构中,由下至上依次为绝缘层(3)、半导体层(2),或由下至上依次为半导体层(2)、绝缘层(3);
半导体层(2)的材质为MEH-PPV,浓度为4mg/ml,其溶剂为环己酮;
绝缘层(3)的材质为聚乙二醇,浓度为30mg/ml,其溶剂为乙醇。
2.如权利要求1所述的基于MEH-PPV的聚合物薄膜电双稳器件,其特征在于:基底(1)为附有导电材料的玻璃基板,所述的导电材料为氧化铟锡。
3.如权利要求1所述的基于MEH-PPV的聚合物薄膜电双稳器件,其特征在于:电极层(4)为低功函数材料,包括银、铝、锂、钙或镁。
4.如权利要求1所述的基于MEH-PPV的聚合物薄膜电双稳器件,其特征在于,制备步骤为:
1)清洗基底(1);
2)在基底(1)上旋涂形成功能层;
3)在功能层上蒸镀形成电极层(4)。
5.如权利要求4所述的基于MEH-PPV的聚合物薄膜电双稳器件,其特征在于,功能层为单层结构时,具体制备步骤为:
步骤1:使用清洗剂将刻蚀好的氧化铟锡的基底(1)反复清洗,再将其依次置入去离子水、丙酮和乙醇中浸泡,并各超声30分钟,经氮气流干燥后,在紫外臭氧环境中处理15分钟;
步骤2:称量4mg分子量为4000的聚乙二醇和4mg的MEH-PPV,加入1mL的环己酮,放入大小为C07的磁子,在磁力搅拌机上以50℃充分搅拌12小时,使其充分溶解,将所得溶解均匀的溶液旋涂于基底上,形成混合层(5),转速为2500转/分钟,旋涂成膜时间为50秒,将所得样品放在热台上进行退火处理;
步骤3:在10-4Pa以上真空度的退火真空环境下将电极材料蒸镀到混合层(5)上,形成电极层(4),所得的电极层(4)的厚度为100nm。
6.如权利要求4所述的基于MEH-PPV的聚合物薄膜电双稳器件,其特征在于,功能层为双层结构时,具体制备步骤为:
步骤1:使用清洗剂将刻蚀好的氧化铟锡的基底(1)反复清洗,再将其依次置入去离子水、丙酮和乙醇中浸泡,并各超声30分钟,经氮气流干燥后,在紫外臭氧环境中处理15分钟;
步骤2:称量30mg分子量为4000的聚乙二醇,加入1mL的乙醇,放入大小为C07的磁子,在磁力搅拌机上以50℃充分搅拌12小时,使其充分溶解,将所得溶解均匀的溶液旋涂于基底上,形成绝缘层(3),转速为2000转/分钟,旋涂成膜时间为40秒,将所得样品放在热台上进行退火处理;
步骤3:称量4mg的MEH-PPV,加入1mL的环己酮,放入大小为C07的磁子,在磁力搅拌机上以50℃充分搅拌12小时,使其充分溶解,将所得溶解均匀的溶液旋涂于绝缘层上,形成半导体层(2),转速为先2500转/分钟旋涂60秒使其成膜,接着6000转/分钟旋涂5秒使其加速溶剂挥发,最后将所得样品放在热台上进行退火处理;
步骤4:在10-4Pa以上真空度的退火真空环境下将电极材料蒸镀到半导体层(2)上,形成电极层(4),所得的电极层(4)的厚度为100nm。
7.如权利要求4所述的基于MEH-PPV的聚合物薄膜电双稳器件,其特征在于,功能层为双层结构时,另一具体制备步骤为:
步骤1:使用清洗剂将刻蚀好的氧化铟锡的基底(1)反复清洗,再将其依次置入去离子水、丙酮和乙醇中浸泡,并各超声30分钟,经氮气流干燥后,在紫外臭氧环境中处理15分钟;
步骤2:称量4mg的MEH-PPV,加入1mL的环己酮,放入大小为C07的磁子,在磁力搅拌机上以50℃充分搅拌12小时,使其充分溶解,将所得溶解均匀的溶液旋涂于基底上,形成半导体层(2),转速为先2500转/分钟旋涂60秒使其成膜,接着6000转/分钟旋涂5秒使其加速溶剂挥发,最后将所得样品放在热台上进行退火处理;
步骤3:称量30mg分子量为4000的聚乙二醇,加入1mL的乙醇,放入大小为C07的磁子,在磁力搅拌机上以50℃充分搅拌12小时,使其充分溶解,将所得溶解均匀的溶液旋涂于半导体层上,形成绝缘层(3),转速为2000转/分钟,旋涂成膜时间为40秒,将所得样品放在热台上进行退火处理;
步骤4:在10-4Pa以上真空度的退火真空环境下将电极材料蒸镀到绝缘体(3)上,形成电极层(4),所得的电极层(4)的厚度为100nm。
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