[发明专利]一种样品测试/处理装置

权利要求书

1.一种样品测试/处理装置，其特征在于：包括基础结构件、作业台、样品架、样品架支撑机构、控制器和多个工艺处理单元，其中基础结构件、作业台、样品架自上而下依次布置；所述样品架用于装载待处理样品，所述样品架支撑机构用于配合连接并锁紧样品架，使得样品架处于作业台下方的作业区域；所述多个工艺处理单元均固定安装于作业台，作业台与基础结构件连接固定，基础结构件上设置有统一的作业线路连接口，作业台在竖直方向上具有与所述作业线路连接位置对应的贯通孔道；所述样品架支撑机构自作业台下方穿过所述贯通孔道伸出，并连接有水平旋转驱动机构和升降驱动机构以实现样品架支撑机构的水平旋转和垂直升降功能；

所述作业台是通过作业台支撑机构与基础结构件安装固定，作业台支撑机构对应于所述贯通孔道提供用于容置样品架支撑机构的空间，所述多个工艺处理单元相应的电气线路亦在该空间内走线。

2.根据权利要求1所述的样品测试/处理装置，其特征在于：所述作业台支撑机构和样品架支撑机构整体上构成套管形态，作业台支撑机构作为外管插接固定于基础结构件，样品架支撑机构作为内管穿过作业台支撑机构，所述多个工艺处理单元相应的线路在套管所形成的环形空间内走线。

3.根据权利要求1所述的样品测试/处理装置，其特征在于：所述样品架支撑机构的下端为卡爪结构以锁紧样品架。

4.根据权利要求1所述的样品测试/处理装置，其特征在于：该样品测试/处理装置还包括位于样品架的水平方向上的翻转执行机构，用于配合连接并驱动样品架翻转，由所述控制器协调翻转执行机构和样品架支撑机构对样品架的配合连接。

5.根据权利要求4所述的样品测试/处理装置，其特征在于：所述样品架包括水平的固定框和位于固定框内的转动件，转动件上设置有用于装载待处理样品的贯通孔，转动件通过翻转轴与固定框安装连接；样品架位于处理工位时，所述样品架支撑机构与固定框配合连接固定；需要翻转时，所述翻转执行机构的驱动端沿水平方向与样品架的翻转轴同轴连接固定，样品架支撑机构与固定框脱开，使得翻转执行机构能够带动转动件及其装载的待处理芯片能够相对于固定框翻转运动。

6.根据权利要求5所述的样品测试/处理装置，其特征在于：所述固定框内设置有平行的至少两个所述转动件。

7.根据权利要求5所述的样品测试/处理装置，其特征在于：样品架需要翻转时，升降驱动机构带动样品架支撑机构及其固定的样品架下移，翻转执行机构水平方向伸长与样品架的翻转轴配合连接，然后样品架支撑机构与样品架脱开并回升，待翻转执行机构将样品架的转动件翻转后，样品架支撑机构再次下移与样品架的固定框配合连接固定，翻转执行机构与样品架脱开后缩回，样品架支撑机构以及样品架上升至所要求的位置。

8.根据权利要求4所述的样品测试/处理装置，其特征在于：所述样品架是一体件形式的转动件，需要翻转时，翻转执行机构水平方向伸长与样品架配合连接固定，样品架支撑机构与样品架脱开，翻转执行机构沿水平方向继续伸长或回缩从而拖动样品架远离样品架支撑机构的投影位置，待翻转执行机构驱动样品架翻转后，再拖动样品架回归原位重新与支撑机构连接固定。

9.根据权利要求1所述的样品测试/处理装置，其特征在于：所述多个工艺处理单元包括样品加热单元、温度检测反馈单元和冷却单元；在样品架支撑机构上安装有偏压单元，使得当样品架支撑机构配合锁紧样品架时能够按照工艺需求对样品架施加偏压。