[发明专利]一种边缘曝光装置及曝光方法

说明书

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及一种边缘曝光装置及曝光方法。

背景技术

目前，在显示基板的制作过程中，包括对显示基板上的光阻层进行曝光的工艺。具体地，使用主曝光装置对基板上的显示区域的光阻层进行曝光，使用边缘曝光装置对基板上的非显示区域的光阻层进行曝光。其中，上述非显示区域的光阻层由多个条形区域组成，例如，当在一块基板上制作四块显示区域时，非显示区域的光阻层由呈田字型排布的六个条形区域组成。

现有技术中，边缘曝光装置通常包括多个点光源和基板载台，每个点光源照射在对应的条形区域上均产生一个正方形光斑。然而，本申请的发明人发现，在使用上述边缘曝光装置对对应的光阻层进行曝光的过程中，由于每个正方形光斑一次性只能覆盖对应的条形区域的一小部分，即每个点光源一次性只能对对应的条形区域的一小部分进行曝光，因此，需要通过机械的方式移动每个点光源或者基板载台，以使每个点光源完成对对应的条形区域的所有部分的曝光。而每个点光源或者基板载台的移动需要一定的时间，从而使得边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间较长，影响了制作显示基板的产能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种边缘曝光装置及曝光方法，用于缩短边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高制作显示基板的产能。

为达到上述目的，本发明提供的边缘曝光装置采用如下技术方案：

一种边缘曝光装置，该边缘曝光装置包括基板载台和位于所述基板载台上方的光源，所述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，每个所述第一条形光源的形状均与放置于所述基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿所述基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配。

在本发明所提供的边缘曝光装置中，由于该边缘曝光装置中的光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，且每个第一条形光源的形状均与对应的光阻层中沿基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配，从而使得在使用该边缘曝光装置对对应的光阻层进行曝光的过程中，每个第一条形光源照射在对应的条形区域上所产生的光斑均能一次性覆盖该条形区域的所有部分，即每个第一条形光源均能一次性对对应的条形区域的所有部分进行曝光，因此，与现有技术相比，节约了现有技术中的点光源或者基板载台移动以使其产生的正方形光斑覆盖对应的条形区域的所有部分的时间，进而能够缩短边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高了制作显示基板的产能。

本发明进一步提供了一种曝光方法，该曝光方法包括：

将基板放置在基板载台上；

使用位于所述基板载台上方的光源对所述基板的非显示区域的光阻层进行曝光；

其中，所述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，每个所述第一条形光源的形状均与放置于所述基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿所述基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配。

在本发明所提供的曝光方法中，由于该曝光方法包括将基板放置在基板载台上，然后使用位于基板载台上方的光源对基板的非显示区域的光阻层进行曝光，其中，上述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，且每个第一条形光源的形状均与放置于基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配，因此，在使用该曝光方法对对应的光阻层进行曝光的过程中，每个第一条形光源照射在对应的条形区域上所产生的光斑均能一次性覆盖该条形区域的所有部分，即每个第一条形光源均能一次性对对应的条形区域的所有部分进行曝光，因此，与现有技术相比，节约了现有技术中的点光源或者基板载台移动以使其产生的正方形光斑覆盖对应的条形区域的所有部分的时间，进而能够缩短使用该曝光方法对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高了制作显示基板的产能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例中的第一种边缘曝光装置的结构示意图；

图2为本发明实施例中的第一种基板的结构示意图；

图3为本发明实施例中的第二种基板的结构示意图；

图4为本发明实施例中的第三种基板的结构示意图；

图5为本发明实施例中的第二种边缘曝光装置的结构示意图；