[发明专利]球面金属变形镜及其一体化加工工艺

权利要求书

1.一种球面金属变形镜，其特征在于：所述球面金属变形镜包括反射镜、驱动器阵列以及支撑底盘；所述反射镜与驱动器阵列之间通过过渡接头并以胶接方式连接，所述支撑底盘与驱动器阵列之间以螺接方式连接。

2.根据权利要求1所述的球面金属变形镜，其特征在于：所述反射镜的工作表面为球面，所述反射镜的基底是金属材料，所述反射镜的口径不低于100mm，所述反射镜的径厚比不小于30。

3.根据权利要求2所述的球面金属变形镜，其特征在于：所述驱动器阵列包括多个压电陶瓷驱动器；所述多个压电陶瓷驱动器以正六边形的方式排布。

4.根据权利要求3所述的球面金属变形镜，其特征在于：所述驱动器阵列由61个压电陶瓷驱动器组成。

5.根据权利要求4所述的球面金属变形镜，其特征在于：所述支撑底盘所采用材料的刚度远大于反射镜所采用材料的刚度。

6.一种针对权利要求1-5任一权利要求所述的球面金属变形镜的一体化加工工艺，其特征在于：所述一体化加工工艺包括以下步骤：

1)超薄金属反射镜的粗加工及表面成型加工；

2)将压电陶瓷驱动器阵列与支撑底盘通过螺钉连接；

3)从压电陶瓷驱动器阵列的头部套入用于限位及增强驱动器阵列刚度的网孔装保护性工装，并在网孔装保护性工装与支撑底盘之间设置三个垫块，三个垫块呈120°分布；

4)在驱动器阵列中的每个驱动器的头部安装用于与反射镜背部粘接的过渡接头，所述过渡接头的长度通过计算精确获得；

5)对过渡接头进行研磨，使过渡接头与反射镜背部曲率的走向匹配；

6)将反射镜与过渡接头进行胶接，静置使粘接用胶完全固化；

7)利用单点金刚石车床对带有驱动器及支撑底盘的球面金属变形镜进行车削加工，达到1个波长量级的面形精度；

8)对经过步骤7)后的球面金属变形镜进行精密光学抛光，达到优于1/10个波长面形精度。