[发明专利]太赫兹波检测装置、照相机、成像装置以及计测装置

权利要求书

1.一种太赫兹波检测装置，其特征在于，

包括：

基板；

第一金属层，设置于所述基板的上方；

热电体层，设置于所述第一金属层上；以及

第二金属层，设置于所述热电体层上，

其中，

所述第二金属层具有以给定的周期设置有单位结构的周期结构，

所述热电体层吸收射入所述热电体层的太赫兹波并转换为热，并且，将所转换的热转换为电信号。

2.根据权利要求1所述的太赫兹波检测装置，其特征在于，

所述给定的周期比通过所述热电体层吸收的所述太赫兹波在真空中的波长短。

3.根据权利要求1或2所述的太赫兹波检测装置，其特征在于，

所述第一金属层及所述第二金属层与所述热电体层电连接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的太赫兹波检测装置，其特征在于，

还包括：

支撑基板，支撑所述第一金属层；以及

支撑部，以使所述支撑基板与所述基板分开的方式支撑所述支撑基板。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的太赫兹波检测装置，其特征在于，

所述热电体层的厚度为300nm以上700nm以下。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的太赫兹波检测装置，其特征在于，

所述第一金属层、所述热电体层、以及所述第二金属层构成单位单元，

所述单位单元设置有多个。

7.根据权利要求6所述的太赫兹波检测装置，其特征在于，

所述单位结构具有：

在所述热电体层上设置有所述第二金属层的区域；以及

在所述热电体层上未设置有所述第二金属层的区域，

在所述太赫兹波检测装置中设置有所述未设置有所述第二金属层的区域的宽度不同的多个所述单位单元。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的太赫兹波检测装置，其特征在于，

在所述第一金属层的下方包括反射所述太赫兹波的反射层。

9.一种照相机，其特征在于，

包括：

太赫兹波产生部，产生太赫兹波；

太赫兹波检测部，具有权利要求1至8中任一项所述的太赫兹波检测装置，用于对从所述太赫兹波产生部射出并透过目标物的所述太赫兹波或者由所述目标物反射的所述太赫兹波进行检测；以及

存储部，存储所述太赫兹波检测部的检测结果。

10.一种成像装置，其特征在于，

包括：

太赫兹波产生部，产生太赫兹波；

太赫兹波检测部，具有权利要求1至8中任一项所述的太赫兹波检测装置，用于对从所述太赫兹波产生部射出并透过目标物的所述太赫兹波或者由所述目标物反射的所述太赫兹波进行检测；以及

图像形成部，基于所述太赫兹波检测部的检测结果，生成所述目标物的图像。

11.一种计测装置，其特征在于，

包括：

太赫兹波产生部，产生太赫兹波；

太赫兹波检测部，具有权利要求1至8中任一项所述的太赫兹波检测装置，用于对从所述太赫兹波产生部射出并透过目标物的所述太赫兹波或者由所述目标物反射的所述太赫兹波进行检测；以及

计测部，基于所述太赫兹波检测部的检测结果，对所述目标物进行计测。