[发明专利]一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法及装置

权利要求书

1.一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将基材（12）置于玻璃器皿（7）内的含有微细颗粒（8）的悬浊液（10）中；

S2：激光器（1）产生高能脉冲激光（5）；

S3：激光经过光路系统中的反射镜（4）由凸透镜（6）进行聚焦至基材（12）需要植入微细颗粒的位置；

S4：当聚焦的激光能量大于液体的击穿阈值时，激光击穿悬浊液，产生等离子体膨胀辐射出等离子体冲击波（11）；

S5：等离子体消失后诱导产生的空化泡（9）溃灭时能对外辐射出冲击波；

S6：空化泡（9）与基材表面相互作用产生高速微射流；

S7：产生的冲击波及高速微射流推动微细颗粒（8）冲击植入基材（12）。

2.如权利要求1所述的基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法，其特征在于，在步骤S1中，所述玻璃器皿（7）放置于三维微细工作平台（13），三维微细工作平台（13）的运动由计算机(3)及运动控制系统（2）精确控制，三维微细工作平台（13）的垂直方向的运动可调整基材（12）与激光焦点之间的距离，三维微细工作平台（13）做水平方向的二维运动，以扫描的方式，在基材（12）上植入所需的微细结构。

3.一种实施权利要求1所述方法的装置，其特征在于，包括激光射入系统、玻璃器皿（7）、三维微细工作平台（13）、计算机(3)及运动控制系统（2），所述激光射入系统包括激光器（1）、反射镜（4）和凸透镜（6），所述玻璃器皿（7）内设有含有微细颗粒（8）的悬浊液（10）和基材（12），基材（12）位于玻璃器皿（7）的底部，激光器（1）产生的高能脉冲激光（5）经过激光射入系统中的反射镜（4）由凸透镜（6）进行聚焦至基材（12）需要植入微细颗粒的位置；所述三维微细工作平台（13）在计算机(3)及运动控制系统（2）的控制下作垂直和水平方向的运动。