[发明专利]一种高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪

权利要求书

1.一种高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪，其特征在于，所述的透射光栅谱仪包括入射狭缝元件（2）、透射光栅元件（3）和条纹相机（4），所述的入射狭缝元件（2）、透射光栅元件（3）和条纹相机（4）在光路的z方向依次排布；所述的透射光栅元件（3）上包含低线对密度光栅（9）和高线对密度光栅（10）；所述的条纹相机（4）上包含光阴极狭缝元件（5）和光阴极元件（6），所述的光阴极狭缝元件（5）和光阴极元件（6）在光路的z方向依次排布；X射线源（1）产生的X射线经入射狭缝元件（2），透射光栅元件（3）色散，形成两个分辨率不同的光谱，两光谱在空间上错位，经条纹相机（4）扫描后，获得X射线光谱。

2.根据权利要求1所述的高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪，其特征在于，所述的入射狭缝元件（2）固定于透射光栅元件（3）前，入射狭缝元件（2）上刻有狭缝A（7）和狭缝B（8），狭缝A（7）与狭缝B（8）宽度均为D₁；狭缝A（7）的长度大于低线对密度光栅（9）的长度，狭缝A（7）的中心与低线对密度光栅（9）的中心在z方向重合；狭缝B（8）的长度大于高线对密度光栅（10）的长度，狭缝B（8）的中心与高线对密度光栅（10）的中心在z方向重合。

3.根据权利要求1所述的高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪，其特征在于，所述的低线对密度光栅（9）线对密度为1000到2000线对/毫米；高线对密度光栅（10）线对密度为2000到5000线对/毫米；低线对密度光栅（9）与高线对密度光栅（10）内侧边缘在x方向相距距离为X₀；低线对密度光栅（9）与高线对密度光栅（10）中心在y方向相距距离为Y₀。

4.根据权利要求1所述的高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪，其特征在于，所述的光阴极狭缝元件（5）上刻有狭缝C（11）和狭缝D（12）；狭缝C（11）底端与狭缝D（12）顶端在y方向对称，狭缝D（12）底端中心与高线对密度光栅（10）中心在z方向重合；狭缝C（11）与狭缝D（12）宽度相等，宽度值范围为100~300微米；狭缝C（11）长度为Y₁，狭缝D（12）长度为Y₂；狭缝C（11）与狭缝D（12）内侧边缘沿x方向相距距离X₀。

5.根据权利要求1所述的高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪，其特征在于，所述的光阴极元件（6）固定于光阴极狭缝元件（5）后且覆盖光阴极狭缝；光阴极元件（6）的长度值是狭缝C（11）与狭缝D（12）长度之和，宽度值等于狭缝C、狭缝D及其内侧边缘沿x方向相距距离之和。