[发明专利]一种芯片封装方法在审

专利信息
申请号: 201510596161.6 申请日: 2015-09-17
公开(公告)号: CN105161432A 公开(公告)日: 2015-12-16
发明(设计)人: 林正忠;汤红 申请(专利权)人: 中芯长电半导体(江阴)有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/60
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 余明伟
地址: 214437 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 封装 方法
【权利要求书】:

1.一种芯片封装方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供一载体,在所述载体表面形成粘胶层;

在所述粘胶层上粘贴至少一个芯片,其中,芯片正面朝上;

采用3D打印法在所述载体表面打印出覆盖所述芯片的塑封层及与所述芯片电性连接的再分布引线层;所述再分布引线层包括贯穿所述塑封层并与所述芯片电性引出相对应的导电柱,以及分布于所述塑封层表面并与所述导电柱相连接的金属线路。

2.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于:首先打印出所述塑封层,然后打印出所述再分布引线层;其中,所述塑封层打印完毕后,其中具有容纳所述导电柱的通孔。

3.根据权利要求2所述的芯片封装方法,其特征在于:采用激光工程化净成形技术打印所述再分布引线层。

4.根据权利要求3所述的芯片封装方法,其特征在于:所述导电柱与所述金属线路分别打印,包括如下步骤:

采用喷头在所述通孔内喷射金属粉末,并同步通过激光器发射头发射出的激光将金属粉末熔化;熔化的金属粉末成形后构成所述导电柱;

采用喷头按照预设路线在所述塑封层表面喷射金属粉末,并同步通过激光器发射头发射出的激光将金属粉末熔化;熔化的金属粉末成形后构成所述金属线路。

5.根据权利要求3所述的芯片封装方法,其特征在于:所述导电柱与所述金属线路同步打印,包括如下步骤:

采用喷头按照预设路线在所述塑封层表面及所述通孔内喷射金属粉末,并同步通过激光器发射头发射出的激光将金属粉末熔化;其中,位于所述通孔内熔化的金属粉末成形后构成所述导电柱,位于所述塑封层表面熔化的金属粉末成形后构成所述金属线路。

6.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于:同步打印出所述塑封层及所述再分布引线层。

7.根据权利要求6所述的芯片封装方法,其特征在于:将由所述塑封层及所述再分布引线层组成的复合层分解为至少两层并自下而上逐层打印;其中,对于仅包含塑封层材料的分解层,采用第一喷头按照预设路线喷射塑封层材料得到;对于同时包含塑封层材料及金属材料的分解层,按照预设路线交替采用第一喷头喷射塑封层材料及第二喷头喷射金属材料得到。

8.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于:所述塑封层表面形成有与所述金属线路相对应的凹槽,所述金属线路嵌于所述凹槽内。

9.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于:进一步在所述再分布引线层表面形成凸点下金属层,并在所述凸点下金属层表面形成焊球凸点。

10.根据权利要求9所述的芯片封装方法,其特征在于:进一步去除所述载体及所述粘胶层。

11.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于:所述塑封层的材料包括环氧树脂、橡胶或聚酰亚胺。

12.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于:所述载体包括金属、晶圆、玻璃或有机材料。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯长电半导体(江阴)有限公司,未经中芯长电半导体(江阴)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510596161.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top