[发明专利]被加工物的磨削方法

权利要求书

1.一种被加工物的磨削方法，磨削被加工物组件的被加工物的上表面而使该被加工物变薄，该被加工物组件由该被加工物和支撑板构成，该支撑板具有尺寸大于该被加工物的尺寸的上表面，并在该上表面固定被加工物，

该磨削方法的特征在于，包括：

保持步骤，在具有保持面的保持单元上隔着该支撑板保持被加工物；

高度测定步骤，在实施了该保持步骤后，使用高度测定单元，使接触针分别接触由该保持单元保持的该支撑板的未固定有被加工物的区域的上表面和隔着该支撑板而由该保持单元保持的被加工物的上表面，来测定高度，其中，该高度测定单元使该接触针接触测定对象物的表面而测定该测定对象物的高度；以及

磨削步骤，在实施了该高度测定步骤后，根据在该高度测定步骤中测定出的高度对被加工物的厚度进行计算，通过磨削单元磨削被加工物，直到计算出的被加工物的厚度成为期望厚度为止，

在该高度测定步骤中，使该高度测定单元与该保持单元相对移动，通过测定该支撑板的上表面的高度的该接触针来测定被加工物的上表面的高度。

2.根据权利要求1所述的被加工物的磨削方法，其特征在于，

该被加工物组件具有固定于该支撑板的上表面的多个被加工物。