[发明专利]一种扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法

权利要求书

1.一种扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法，其特征在于，包括：

步骤S01：利用一扫描机台建立一扫描程式，并根据设定的待检测晶圆的扫描程式信息，计算得到允许的各扫描行缺陷数目最大值；

步骤S02：进行晶圆扫描，并在扫描程式中将获得的每个扫描行实际缺陷数目与其对应的扫描行缺陷数目最大值进行数值大小的比较；其中，在晶圆扫描过程中，根据扫描阈值对扫描图像的灰度差异值进行判断，当超过阈值时即认为是缺陷，得到每个扫描行的实际缺陷数目；

步骤S03，当出现若干第一连续的扫描行实际缺陷数目都分别大于其对应的扫描行缺陷数目最大值时，在所述扫描程式中通过调高阈值的设定值，以使该阈值满足能够使得该第一连续的扫描行中最后一扫描行实际缺陷数目减少到等于或小于其对应的扫描行缺陷数目最大值条件，然后，使用该调高后的阈值进行自后一扫描行开始的扫描；

步骤S04：当再出现若干第二连续的扫描行实际缺陷数目都分别大于其对应的扫描行缺陷数目最大值时，重复步骤S03，直至完成整片晶圆的完全扫描。

2.根据权利要求1所述的扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法，其特征在于，所述扫描程式信息包括总缺陷数目最大值、扫描行数及各扫描行长度。

3.根据权利要求1所述的扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法，其特征在于，所述扫描行缺陷数目最大值C_n满足：

C_n＝QL_n

其中，Q＝M/∑L_n

其中，M代表总缺陷数目最大值，n代表扫描行数，L_n代表扫描行长度，Q代表单位长度缺陷数目最大值，所述扫描程式信息包括M、n、L_n。

4.根据权利要求1所述的扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法，其特征在于，在完成整片晶圆的完全扫描后，在所述扫描程式中记录下晶圆上阈值更改的位置和数值，以得到整片晶圆的扫描阈值分布图，并进一步得到对应的完全的缺陷分布图。

5.根据权利要求1所述的扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法，其特征在于，所述第一连续的扫描行的行数大于或等于第二连续的扫描行的行数。

6.根据权利要求1或5所述的扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法，其特征在于，所述第一、第二连续的扫描行的行数为2～5。