[发明专利]一种适用于二极管的清洗液在审
| 申请号: | 201510590855.9 | 申请日: | 2015-09-17 |
| 公开(公告)号: | CN105176717A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
| 发明(设计)人: | 苏建丽 | 申请(专利权)人: | 青岛文创科技有限公司 |
| 主分类号: | C11D10/02 | 分类号: | C11D10/02 |
| 代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 钟廷良 |
| 地址: | 266061 山东省青岛市崂山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 适用于 二极管 清洗 | ||
1.一种二极管专用清洗液,其包括以下重量份组成:
季铵氢氧化物4~10份;
醋酸/醋酸钠缓冲水溶液3~7份;
柠檬酸/柠檬酸盐缓冲水溶液4~9份;
烷基二醇芳基醚5~11份;
混酸12~21份;
氢氧化钾2~7份;
乙醇10~40份;
去离子水50~120份。
2.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述清洗液的各组分的重量份组成为:
季铵氢氧化物5~10份;
醋酸/醋酸钠缓冲水溶液4~6份;
柠檬酸/柠檬酸盐缓冲水溶液4~8份;
烷基二醇芳基醚5~9份;
混酸15~20份;
氢氧化钾3~6份;
乙醇15~40份;
去离子水65~120份。
3.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述清洗液的重量份组成为:
季铵氢氧化物8份;
醋酸/醋酸钠缓冲水溶液5份;
柠檬酸/柠檬酸盐缓冲水溶液5份;
烷基二醇芳基醚7份;
混酸18份;
氢氧化钾5份;
乙醇15~40份;
去离子水65~120份。
4.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所上述清洗液的重量份组成为:
季铵氢氧化物7份;
醋酸/醋酸钠缓冲水溶液4份;
柠檬酸/柠檬酸盐缓冲水溶液8份;
烷基二醇芳基醚6份;
混酸16份;
氢氧化钾4份;
乙醇25~40份;
去离子水65~120份。
5.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述清洗液的混酸为HNO3、HF、CH3COOH、H2O2和H3PO4。
6.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述混酸中各组分的体积比为:HNO3︰HF︰CH3COOH︰H2O2︰H3PO4=0.5~1.5︰0.2~1.2︰0.5~4︰1~5︰0.5~4。
7.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述混酸中HNO3浓度为30%~45%(wt%)、HF的浓度为15%~30%(wt%)、CH3COOH的浓度为15~45%(wt%)、H2O2的浓度为20%~25%(wt%)、H3PO4的浓度为25%~45%(wt%)。
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