[发明专利]一种适用于二极管的清洗液在审

专利信息
申请号: 201510590855.9 申请日: 2015-09-17
公开(公告)号: CN105176717A 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 苏建丽 申请(专利权)人: 青岛文创科技有限公司
主分类号: C11D10/02 分类号: C11D10/02
代理公司: 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 代理人: 钟廷良
地址: 266061 山东省青岛市崂山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 二极管 清洗
【权利要求书】:

1.一种二极管专用清洗液,其包括以下重量份组成:

季铵氢氧化物4~10份;

醋酸/醋酸钠缓冲水溶液3~7份;

柠檬酸/柠檬酸盐缓冲水溶液4~9份;

烷基二醇芳基醚5~11份;

混酸12~21份;

氢氧化钾2~7份;

乙醇10~40份;

去离子水50~120份。

2.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述清洗液的各组分的重量份组成为:

季铵氢氧化物5~10份;

醋酸/醋酸钠缓冲水溶液4~6份;

柠檬酸/柠檬酸盐缓冲水溶液4~8份;

烷基二醇芳基醚5~9份;

混酸15~20份;

氢氧化钾3~6份;

乙醇15~40份;

去离子水65~120份。

3.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述清洗液的重量份组成为:

季铵氢氧化物8份;

醋酸/醋酸钠缓冲水溶液5份;

柠檬酸/柠檬酸盐缓冲水溶液5份;

烷基二醇芳基醚7份;

混酸18份;

氢氧化钾5份;

乙醇15~40份;

去离子水65~120份。

4.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所上述清洗液的重量份组成为:

季铵氢氧化物7份;

醋酸/醋酸钠缓冲水溶液4份;

柠檬酸/柠檬酸盐缓冲水溶液8份;

烷基二醇芳基醚6份;

混酸16份;

氢氧化钾4份;

乙醇25~40份;

去离子水65~120份。

5.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述清洗液的混酸为HNO3、HF、CH3COOH、H2O2和H3PO4

6.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述混酸中各组分的体积比为:HNO3︰HF︰CH3COOH︰H2O2︰H3PO4=0.5~1.5︰0.2~1.2︰0.5~4︰1~5︰0.5~4。

7.根据权利要求1所述的一种二极管专用清洗液,其特征在于:所述混酸中HNO3浓度为30%~45%(wt%)、HF的浓度为15%~30%(wt%)、CH3COOH的浓度为15~45%(wt%)、H2O2的浓度为20%~25%(wt%)、H3PO4的浓度为25%~45%(wt%)。

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