[发明专利]电气检测治具及电气检测方法

权利要求书

1.一种电气检测治具，包括载体和设置于所述载体内部的多个探针，所述探针的尖端从所述载体的底部突出，其特征在于，所述电气检测治具还包括：

设置于所述载体内部的多个通气道，所述通气道的一端贯通所述载体的底部；

与所述通气道的另一端相连的抽气装置，用于在进行电气检测时抽气，使所述通气道在所述载体的底部产生负压；

所述多个通气道均匀设置于所述载体内部；所述通气道设置于所述多个探针之间的间隙处。

2.根据权利要求1所述的电气检测治具，其特征在于，所述电气检测治具还包括设置于所述载体内部的输气道，所述通气道和所述抽气装置分别与所述输气道相连。

3.根据权利要求1所述的电气检测治具，其特征在于，所述电气检测治具还包括设置于所述载体的底部的弹性垫，所述弹性垫上具有多个第一通孔和多个第二通孔，所述探针的尖端从所述第一通孔中突出，所述第二通孔与所述通气道贯通。

4.根据权利要求3所述的电气检测治具，其特征在于，所述弹性垫为橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的电气检测治具，其特征在于，所述电气检测治具还包括设置于所述载体的底部的边缘的吸盘。

6.根据权利要求1～5任一项所述的电气检测治具，其特征在于，所述电气检测治具还包括分别与所述多个探针相连的多条引线，所述引线用于将所述探针与检测设备相连。

7.根据权利要求1～5任一项所述的电气检测治具，其特征在于，所述电气检测治具还包括固定于所述探针的非尖端的弹簧。

8.一种电气检测方法，其特征在于，所述电气检测方法适用于如权利要求1～7任一项所述的电气检测治具，所述电气检测方法包括：

将所述电气检测治具上的探针对准待测基板的触点；

利用抽气装置进行抽气，在所述电气检测治具与所述待测基板之间产生负压，使所述探针与所述触点电连接；

对所述待测基板进行电气检测。