[发明专利]振动测量装置

权利要求书

1.一种振动测量装置，包括：

发射部，通过参量扬声器输出的声波对测定对象物进行激振；以及

光学测量部，对所述测定对象物照射激光，并受光从所述测定对象物 反射出的激光，根据受光的光，测量所述测定对象物的振动；

其中，一体化安装所述发射部和所述光学测量部，所述光学测量部使 针对所述测定对象物的激光的投受光光轴与由所述参量扬声器输出的声 波的中心轴对着所述测定对象物的中心点相一致。

2.根据权利要求1所述的振动测量装置，其特征在于，

所述光学测量部使针对所述测定对象物的激光的投受光光轴与由所 述参量扬声器输出的声波的中心轴一致。

3.根据权利要求2所述的振动测量装置，其特征在于，

所述光学测量部配置在所述参量扬声器的侧部，具有使针对所述测 定对象物的激光的投受光光轴与由所述参量扬声器输出的声波的中心轴 一致的结构。

4.根据权利要求2所述的振动测量装置，其特征在于，

所述光学测量部配置在由所述参量扬声器输出的声波的中心部分上。

5.根据权利要求2所述的振动测量装置，其特征在于，

在由所述参量扬声器输出的声波的中心部分上，使来自所述光学测 量部的激光向所述测定对象物反射，并配置使通过所述测定对象物反射 出的激光向所述光学测量部反射的镜子。

6.根据权利要求5所述的振动测量装置，其特征在于，

所述镜子是二维扫描镜。

7.根据权利要求1至6所述的振动测量装置，其特征在于，

由所述发射部的所述参量扬声器输出的声波，在超声波区域的频率上 增加可听区域的频率的声波。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的振动测量装置，其特征在于，

所述发射部的所述参量扬声器通过将多个超声波振动器密集地配置 在正六角形、圆形的平面上而构成。

9.根据权利要求4所述的振动测量装置，其特征在于，

所述光学测量部配置在所述参量扬声器的所述中央部分的空地部上， 并在所述空地部上通过上通过振动吸收部而被保持，所述振动吸收部吸 收所述参量扬声器产生的振动。

10.根据权利要求6所述的振动测量装置，其特征在于，

所述二维扫瞄镜的旋转角度被设置为45度。