[发明专利]一种均匀加热的热子及其制备方法在审
| 申请号: | 201510586734.7 | 申请日: | 2015-09-15 |
| 公开(公告)号: | CN105280454A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
| 发明(设计)人: | 邓清东;贺兆昌;宋田英;张丽 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所 |
| 主分类号: | H01J1/22 | 分类号: | H01J1/22;H01J9/08 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
| 地址: | 241002 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 均匀 加热 及其 制备 方法 | ||
1.一种均匀加热的热子,其特征在于:包括:平面盘香状的热子工作加热部分(1),所述热子工作加热部分(1)的相同面设置有两个引出腿(2),所述引出腿(2)分别从所述热子工作加热部分(1)的中间部分和最外圈收尾部分引出。
2.根据权利要求1所述的一种均匀加热的热子,其特征在于:所述引出腿(2)包括钼芯杆(3)和绕制在所述钼芯杆(3)外面的金属丝(4)。
3.根据权利要求2所述的一种均匀加热的热子,其特征在于:所述金属丝(4)包括钨丝或者钨铼丝。
4.根据权利要求2所述的一种均匀加热的热子,其特征在于:所述热子工作加热部分(1)的材质和金属丝(4)的材质相同。
5.一种均匀加热的热子制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
S01,初步成型:在绕丝机上将钨丝或者钨铼丝绕制在钼芯杆(3)上,并进行拉丝定型后,切割所需长度的毛坯,将其在工装上成型,使其成为平面盘香状,所述平面盘香状为热子工作加热部分(1),两端垂直于盘香平面部分的钼芯杆(3)及其上的钨丝或者钨铼丝为引出腿(2);
S02,高温定型:将S01中平面盘香状的热子放在氢气气氛中进行高温定型;
S03,化学刻蚀热子工作加热部分(1)的钼芯杆(3):S02得到的热子,在两个引出腿(2)上涂覆清漆并烘干,再将热子放入酸洗溶液中,将热子工作加热部分(1)中的钼芯杆(3)完全刻蚀;
S04,清洗清漆:将S03得到的热子放入有机溶剂中进行泡洗,直至将引出腿(2)上涂覆的清漆清洗干净并烘干,此时引出腿(2)上的钼芯杆(3)是完好的;
S05,净化处理:将S04得到的热子在氢气气氛中进行净化处理。
6.根据权利要求5所述的一种均匀加热的热子制备方法,其特征在于:所述高温定型的温度为1550~1750℃,保持20~40分钟。
7.根据权利要求5所述的一种均匀加热的热子制备方法,其特征在于:所述酸洗溶液由硝酸:硫酸:水按5:3:2的配比配制而成。
8.根据权利要求5所述的一种均匀加热的热子制备方法,其特征在于:所述有机溶剂包括三氯乙烯或者丙酮。
9.根据权利要求5所述的一种均匀加热的热子制备方法,其特征在于:所述净化处理的温度为900~1300℃,保持3~10分钟。
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