[发明专利]高压金属氧化物半导体晶体管元件及其制造方法有效
申请号: | 201510585089.7 | 申请日: | 2015-09-15 |
公开(公告)号: | CN106531794B | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 萧世楹;张凯焜 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台湾*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高压 金属 氧化物 半导体 晶体管 元件 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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