[发明专利]一种微量液体泄漏侦测系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体地说，涉及一种微量液体泄漏侦测系统。

背景技术

在半导体和面板等电子行业生产过程中会使用到各种液态化学品和水。在输送这些液态化学品和水过程中，设备、管道阀门和法兰连接处由于长期处于压力作用，在这些位置处很可能会导致出现微量液体泄漏。如果不能及时发现并处理这些泄漏点，则可能会导致出现大量液体泄漏事故，从而危及人身安全并造成财产损失。

目前在电子行业中广泛采用的液体泄漏侦测系统只能侦测大量液体泄漏，而对于微量液体泄漏的情况，这些侦测系统则无法进行准确、可靠地侦测，也就无法作出极早期预警。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是为了解决现有的漏液侦测系统只能够侦测大量液体泄漏而无法侦测微量液体泄漏的问题。为解决上述问题，本发明的一个实施例首先提供了一种微量液体泄漏侦测系统，所述系统包括：

漏液检测模块，其贴合设置在待检测部位上，用于在待检测部位存在液体泄漏时产生第一漏液响应信号；

电流放大模块，其与所述漏液检测模块连接，用于对所述第一漏液响应信号进行电流放大，得到第二漏液响应信号；

I/O模块，其与所述电流放大模块连接，用于根据接收到的所述第二漏液响应信号产生漏液状态信号；

监测模块，其与所述I/O模块连接，其用于根据所述漏液状态信号确定所述待检测部位是否存在微量液体泄漏，从而实现对所述待检测部位是否存在微量液体泄漏的侦测。

根据本发明的一个实施例，所述漏液检测模块包括多个漏液检测单元，所述电流放大模块包括多个电流放大单元，所述多个漏液检测单元贴合设置在多个待检测部位上且与所述多个电流放大单元对应连接，所述多个电流放大单元还与所述I/O模块的多个外接端口对应连接。

根据本发明的一个实施例，所述监测模块还能够根据所述漏液状态信号，从所述多个待检测部位中确定出存在微量液体泄露的待检测部位，从而实现漏液的定位。

根据本发明的一个实施例，所述漏液检测模块包括漏液检测带，所述漏液检测带包括互不导通的第一检测电极和第二检测电极，其中，

当所述漏液检测模块中存在液体时，所述第一检测电极与第二检测电极之间的电连接导通。

根据本发明的一个实施例，所述第一检测电极和第二检测电极通过所述电流放大模块与所述I/O模块的两个外接端口对应连接。

根据本发明的一个实施例，在进行微量漏液检测时，所述I/O模块配置为向所述第一检测电极施加预设激励信号，使得所述第一检测电极与第二检测电极之间存在预设电压差。

根据本发明的一个实施例，所述预设电压差的取值范围包括[12V，30V]。

根据本发明的一个实施例，所述第一检测电极和第二检测电极为柔性电极。

根据本发明的一个实施例，所述漏液检测带还包括柔性透明的护套，所述护套包裹住所述第一检测电极和第二检测电极。

根据本发明的一个实施例，所述系统还包括：

告警模块，其与所述监测模块连接，当所述监测模块确定出所述待检测部位存在微量液体泄漏时，所述检测模块还能够产生告警信号，以控制所述告警模块进行告警提示。

从上述描述中可以看出，本发明所提供的微量液体泄漏侦测系统将漏液检测模块贴合设置在待检测部位(例如重要设备和管道的阀门以及法兰连接处)，只要待检测部位发生微量液体泄漏，那么漏液检测模块便可以产生对应的漏液响应信号，最终由监测模块根据该电流信号确定出发生液体泄露的待检测部位，并通过告警模块进行告警提示。该系统能够侦测微量液体泄漏，并作出极早期预警，方便工作人员尽早发现微量泄漏源并及时处理，从而避免了出现液体大量泄漏的事故，避免了人员伤亡和财产损失。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图做简单的介绍：

图1是根据本发明一个实施例的微量液体泄漏侦测系统的结构示意图；

图2是根据本发明一个实施例的漏液检测带的结构示意图；

图3是根据本发明一个实施例的微量液体泄漏侦测系统的结构示意图。

具体实施方式