[发明专利]一种高效多晶硅铸锭的制备方法在审
| 申请号： | 201510572730.3 | 申请日： | 2015-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN105154970A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 段金刚;明亮;谭晓松;瞿海斌;陈国红 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 多晶 铸锭 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高效多晶硅铸锭的制备方法，该制备方法使用DSS炉，所述DSS炉包括坩埚、加热器、隔热笼、控温热电偶TC1和测温热电偶TC2，其特征在于，包括以下步骤：
(1)当硅料进入熔化阶段时，打开隔热笼，保持隔热笼的开度为5-40mm，控制控温热电偶TC1的温度为1530-1560℃；
(2)当坩埚底部未熔化的硅料厚度为30-50mm时，控制控温热电偶TC1的温度为1500-1540℃，使隔热笼的开度扩大5-65mm，并保持隔热笼的开度为40-70mm；
(3)当坩埚底部未熔化的硅料厚度为10-20mm时，熔化阶段结束，进入多晶硅长晶阶段，再经退火、冷却得到多晶硅铸锭。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，控制测温热电偶TC2的温度不超过1380℃。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，控制测温热电偶TC2的温度不超过1360℃。
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述隔热笼的开度扩大20-50mm。
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