[发明专利]波纹膜片式法布里－珀罗型光纤压力传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201510571383.2 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN105092122A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 王鸣;陈露;朱佳利;沈萌 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210097 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波纹 膜片 式法布里 珀罗型 光纤 压力传感器 及其 制作方法 | ||
1.波纹膜片式法布里－珀罗型光纤压力传感器，包括波纹膜片、玻璃圆环、光纤法兰盘和光纤插头，其特征在于，所述玻璃圆环的一个端面与波纹膜片粘结，其另一端的外壁与光纤法兰盘的凹槽粘结；所述光纤插头与光纤法兰盘耦合，光纤插头位于玻璃圆环的内部，且光纤插头的端面与波纹膜片的表面形成法布里－珀罗腔。
2.根据权利要求1所述的波纹膜片式法布里－珀罗型光纤压力传感器，其特征在于，所述波纹膜片采用厚度为30μm、波高为60μm的316L不锈钢波纹膜片。
3.根据权利要求1所述的波纹膜片式法布里－珀罗型光纤压力传感器，其特征在于，所述波纹膜片的同心圆圆心与玻璃圆环的圆心重合。
4.如权利要求1所述波纹膜片式法布里－珀罗型光纤压力传感器的制作方法，其特征在于，制作步骤如下：
(1)选定厚度为30μm、波高为60μm的316L不锈钢波纹膜片；
(2)将内径为8mm、外径为1cm的玻璃圆管割成高度为3.2毫米的圆环，然后将切割后的玻璃圆环的端面进行抛光；
(3)将波纹膜片与玻璃圆环的一个端面粘结，使波纹膜片的同心圆圆心与玻璃圆环的圆心重合，用365nm的紫外灯将粘结材料快速固化；
(4)在玻璃圆环另一端的外壁上均匀涂上粘结材料，将其粘结到光纤法兰盘的凹槽中并将其封装固化；
(5)将光纤插头旋接于光纤法兰盘上，光纤插头的端面与波纹膜片的下表面形成法布里—珀罗腔；
(6)最后将法兰盘安装到封装套管基座上，即完成了传感器的制作。
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