[发明专利]用于脆性衬底的切割方法及切割设备在审
| 申请号： | 201510569848.0 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106514884A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 曾翊修 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D1/22;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 脆性 衬底 切割 方法 设备 | ||
【权利要求书】：
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