[发明专利]丝网印刷用网板、光刻方法及其应用

权利要求书

1.一种光刻方法，其特征在于，包括：

提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线；其中，第一方向上设有多个间隔区和丝线区，多个间隔区之间按照一种或多种距离设置，并且间隔区内不设有第一方向的丝线；间隔区与丝线区间隔设置，其中，第一方向上，间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；丝网上涂布有光敏胶层；

提供掩膜版，掩膜版上设有制作槽线的图形，将掩膜版贴靠在丝网上，使制作槽线的图形位于间隔区上方；

光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，包括：

提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线，其中在第一方向上，等间距形成具有一宽度的间隔区；

将光敏胶涂覆在丝网上制作网板；

提供掩膜版，根据所述间距和宽度，在掩膜版上设置制作槽线的图形，使制作槽线图形间距≥间隔区间距、并且制作槽线图形宽度≤间隔区宽度；将掩膜版覆盖在网板上，使制作槽线的图形位于间隔区；

光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，包括：任意两相邻间隔区之间距离为1.0mm-2.0mm。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述间隔区的宽度与第一方向丝线区丝线之间距离之比为(1.2-5)︰1。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一方向丝线区网的目数为80-700目。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一方向丝线区中丝线间距为15-150μm。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述丝线直径为10-30μm。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的方法，其特征在于，间隔区宽度＝第一方向丝线区丝线之间距离×a+第一方向丝线区的丝线直径×b，其中，a为1.2-5，b为0-4。