[发明专利]一种自适应抛光磨头有效

专利信息
申请号: 201510562614.3 申请日: 2015-09-07
公开(公告)号: CN105127889B 公开(公告)日: 2017-06-23
发明(设计)人: 王飞;马占龙;彭利荣;王高文;隋永新;杨怀江 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B24B41/04 分类号: B24B41/04;B24B41/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130000 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 自适应 抛光
【权利要求书】:

1.一种自适应抛光磨头,其特征在于,包括:

法兰基座(1);

磨头基座(2),其位于所述法兰基座(1)的下方,且与所述法兰基座(1)同心装配;

磨头单元(3),其分布设置于所述磨头基座(2)的下表面;

其中,所述磨头单元(3),包括,

子基座(31),其一端与所述磨头基座(2)的下表面固定连接,且在所述子基座(31)内设置有贯通上下的腔体(311);

子磨头(32),其具有连接部和抛光部,其中,所述连接部位于所述腔体(311)内,与所述腔体(311)的内壁间隙配合,且所述连接部的端部与所述磨头基座(2)的下表面弹性相接;

子基套(33),其套装于所述子基座(31)和所述子磨头(32)的外部,用于对所述子磨头(32)进行移动限位;

所述磨头基座(2)的下表面为弧面,且所述弧面的曲率半径与抛光加工面的最佳拟合球面曲率半径相关;

所述磨头基座(2)的下表面曲率半径R1具体为:R1=R-H+2mm,其中,所述R为抛光加工面的最佳拟合球面曲率半径,所述H为所述磨头单元(3)空载条件下的高度。

2.按照权利要求1所述自适应抛光磨头,其特征在于,所述子磨头(32)连接部的端部通过压簧(34)与所述磨头基座(2)的下表面弹性相接,所述压簧(34)位于所述子基座(31)的腔体(311)内,其一端与所述子磨头(32)连接部相抵,另一端与所述磨头基座(2)的下表面相抵。

3.按照权利要求2所述自适应抛光磨头,其特征在于:所述子磨头(32)连接部的端面设置有盲孔(3211),所述压簧(34)与所述子磨头(32)连接部相抵的一端位于所述盲孔(3211)内。

4.按照权利要求1所述自适应抛光磨头,其特征在于,所述子磨头(32)包括:

活塞(321),其上设置有限位块(3212)与所述子基套(33)配合;

抛光模基底(322),其上表面与所述活塞(321)的端部固定连接;

抛光模(323),其固定设置于所述抛光模基底(322)的下表面。

5.按照权利要求4所述自适应抛光磨头,其特征在于:所述抛光模(323)的材料为聚氨酯或沥青。

6.按照权利要求1所述自适应抛光磨头,其特征在于:所述磨头单元(3)在所述磨头基座(2)的下表面呈多环同心状或者正交矩阵状分布。

7.按照权利要求1所述自适应抛光磨头,其特征在于:所述磨头单元(3)的数量为3~100个。

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