[发明专利]一种在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法在审

专利信息
申请号: 201510550361.8 申请日: 2015-09-01
公开(公告)号: CN105161571A 公开(公告)日: 2015-12-16
发明(设计)人: 吴敏;张冬冬;曹章轶 申请(专利权)人: 上海空间电源研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 上海航天局专利中心 31107 代理人: 金家山
地址: 200245 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 柔性 衬底 印刷 制备 铜铟硒硫 吸收 方法
【权利要求书】:

1.一种在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法,其特征在于:该方法采用非真空纳米晶印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层,包括以下步骤:

一、柔性衬底上沉积背电极Mo;

二、以十八烯试剂作为反应介质采用溶液前驱体反应的加热合成方法,制备铜铟硫纳米晶,通过控制升温速率、加热温度等条件,调整并控制铜铟元素比例;

三、将制备的纳米晶材料干燥后溶解于有机试剂,形成纳米晶墨液,利用线棒印刷装置将纳米晶墨液印刷涂覆在带有Mo背电极的柔性衬底上,形成一层厚度均匀的纳米铜铟硫膜层;

四、将薄膜样品放置于真空干燥箱中进行低温退火热处理,经过热处理后的薄膜样品放置于硒化设备中进行硒化反应,铜铟硒硫吸收层制备完成。

2.按照权利要求1所述的在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法,其特征在于:所述步骤一的柔性衬底采用金属箔或聚酰亚胺,采用直流磁控溅射在20~100μm厚度的柔性衬底上制备双层Mo薄膜,Mo层总厚度为0.7~1.0μm。

3.按照权利要求1所述的在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法,其特征在于:所述步骤二中定量称取铜盐、铟盐和十二烷基硫醇,按照一定比例,以十八烯试剂作为反应介质采用溶液前驱体反应的加热合成方法,通过控制升温速率、加热温度等条件,调整并控制铜铟元素比例Cu/In:0.8~1.0制备铜铟硫纳米晶材料。

4.按照权利要求1所述的在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法,其特征在于:所述步骤四、退火硒化处理;将薄膜样品放置于真空干燥箱中,抽真空至10-2Pa,然后进行低温退火热处理,经过热处理后的薄膜样品放置于硒化设备中进行硒化反应,30分钟~1小时反应完成后,铜铟硒硫吸收层制备完成,之后可进行缓冲层CdS的沉积以及后续电池器件的制备。

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