[发明专利]一种在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法在审
| 申请号: | 201510550361.8 | 申请日: | 2015-09-01 |
| 公开(公告)号: | CN105161571A | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
| 发明(设计)人: | 吴敏;张冬冬;曹章轶 | 申请(专利权)人: | 上海空间电源研究所 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/032 |
| 代理公司: | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人: | 金家山 |
| 地址: | 200245 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 柔性 衬底 印刷 制备 铜铟硒硫 吸收 方法 | ||
1.一种在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法,其特征在于:该方法采用非真空纳米晶印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层,包括以下步骤:
一、柔性衬底上沉积背电极Mo;
二、以十八烯试剂作为反应介质采用溶液前驱体反应的加热合成方法,制备铜铟硫纳米晶,通过控制升温速率、加热温度等条件,调整并控制铜铟元素比例;
三、将制备的纳米晶材料干燥后溶解于有机试剂,形成纳米晶墨液,利用线棒印刷装置将纳米晶墨液印刷涂覆在带有Mo背电极的柔性衬底上,形成一层厚度均匀的纳米铜铟硫膜层;
四、将薄膜样品放置于真空干燥箱中进行低温退火热处理,经过热处理后的薄膜样品放置于硒化设备中进行硒化反应,铜铟硒硫吸收层制备完成。
2.按照权利要求1所述的在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法,其特征在于:所述步骤一的柔性衬底采用金属箔或聚酰亚胺,采用直流磁控溅射在20~100μm厚度的柔性衬底上制备双层Mo薄膜,Mo层总厚度为0.7~1.0μm。
3.按照权利要求1所述的在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法,其特征在于:所述步骤二中定量称取铜盐、铟盐和十二烷基硫醇,按照一定比例,以十八烯试剂作为反应介质采用溶液前驱体反应的加热合成方法,通过控制升温速率、加热温度等条件,调整并控制铜铟元素比例Cu/In:0.8~1.0制备铜铟硫纳米晶材料。
4.按照权利要求1所述的在柔性衬底上印刷涂膜制备铜铟硒硫吸收层的方法,其特征在于:所述步骤四、退火硒化处理;将薄膜样品放置于真空干燥箱中,抽真空至10-2Pa,然后进行低温退火热处理,经过热处理后的薄膜样品放置于硒化设备中进行硒化反应,30分钟~1小时反应完成后,铜铟硒硫吸收层制备完成,之后可进行缓冲层CdS的沉积以及后续电池器件的制备。
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