[发明专利]光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201510544653.0 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN105158506A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 贾平岗;熊继军;梁庭;洪应平;曹群;房国成;薛晨阳;刘俊;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光纤 mems 加速度 传感器 及其 制作方法 | ||
1.一种光纤MEMS法珀加速度传感器，其特征在于：包括外壳（1）、光纤套管（2）、光纤（3）、半反面（4）、反射面（5）、加速度敏感元件（6）和基座（7）；其中，外壳（1）、加速度敏感元（6）件和基座（7）的外径相同，三者依次由上至下对齐设置并通过MEMS键合技术实现连接；外壳（1）沿其竖直轴线开设有通孔，光纤套管（2）插装在外壳（1）的通孔内，光纤（3）插装在光纤套管（2）内，光纤（3）出光面经过抛光或者镀半反膜作为半反面，加速度敏感元件（6）的中心位置经过抛光或者镀膜作为反射面，半反面（4）与反射面（5）平行设置且之间留有空隙以形成法珀腔（8）。
2.根据权利要求1所述的光纤MEMS法珀加速度传感器，其特征在于：所述的加速度敏感元件（6）包括支撑框（6-1）、弹性膜片（6-2）和质量块（6-3），质量块（6-3）位于支撑框（6-1）内的中心位置且二者通过弹性膜片（6-2）连接，弹性膜片（6-2）为平膜片、镂空膜片或十字梁。
3.根据权利要求1或2所述的光纤MEMS法珀加速度传感器，其特征在于：所述的光纤套管（2）和光纤（3）能够由梯度折射率透镜和尾纤代替，梯度折射率透镜和尾纤相连，梯度折射率透镜的出光面经过抛光或者镀半反膜作为半反面。
4.根据权利要求1或2所述的光纤MEMS法珀加速度传感器，其特征在于：所述的的外壳（1）、加速度敏感元件（6）和基座（7）是由玻璃、硅或碳化硅制作而成的。
5.根据权利要求3所述的光纤MEMS法珀加速度传感器，其特征在于：所述的的外壳（1）、加速度敏感元件（6）和基座（7）是由玻璃、硅或碳化硅制作而成的。
6.如权利要求1所述的光纤MEMS法珀加速度传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：1）取三层玻璃片或硅片或碳化硅片，其中一层阵列化加工外壳，一层阵列化加工加速度敏感元件及反射面，一层阵列化加工基座；2）通过MEMS键合技术将外壳层、加速度敏感元件层和基座层实现连接，通过划片分离每个连接好的加速度传感器；3）分离好的每个加速度传感器采用熔接技术进行光纤套管及光纤的安装。
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