[发明专利]疾病检测仪

权利要求书

1.一种用于检测生物样本中疾病的装置，包括由一方法制造的检测器件，该方法包括：

提供一个衬底；

依次淀积第一材料与第二材料作为两层至衬底上，形成材料堆叠，其中，所述材料堆叠为具有多层交替结构的薄膜堆栈部分；

对第二材料图形化，形成第一所需特性；

在材料堆叠上淀积第三材料，覆盖第二材料；

选择性的抛光或回蚀第三材料，使第三材料平坦化；

选择性的图形化第一材料和第三材料以形成第二所需特性；

选择性在材料堆叠上淀积第四材料；

进而包括预处理单元，其附带用于预筛选和增强测试样品中患病生物样本的浓度以进一步测试的腔体，还包括携带流体样品来流通的通道，探测或扰动测试的生物样本来产生响应信号的探针，测量生物样本的性质和响应信号的检测探针，及图像器件、摄像头、观测台、声学检测器、光学检测器、电信号检测器、热检测器、离子发射检测器、或热记录仪以观察和记录生物样本的性质与行为。

2.如权利要求1所述装置，其特征在于，该检测装置能够与生物样本相互作用，产生反应信号如电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、电机械学、电化学、电化机械学、生物机械学、生物电机械学、生物电化学、生物电化机械学性质，且该装置能够在微观水平下测量该反应信号。

3.如权利要求1所述装置，其特征在于，该检测装置能够与生物样本相互作用，产生反应信号如化学、物理学或机械学性质，且该装置能够在微观水平下测量该反应信号。

4.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述电学性质为表面电荷、表面电位、静息电位、动态电位、电压、电流、电场分布、电荷分布、电偶极子、电四极子、三维电荷或电荷云分布，DNA与染色体的端粒上的电性，动态电性变化、动态电位变化、动态表面电荷变化，动态电流变化、动态电场变化、动态电压变化，动态电场分布变化、动态电荷云分布变化或阻抗；所述的热学性质为温度或震动频率；所述的光学性质为光学吸收、光学传播、光学反射、光电性质、亮度或荧光发射。

5.如权利要求2所述的装置，其特征在于，化学性质是pH值、化学反应、生物化学反应、生物电化学反应、反应速度、反应能、氧含量、氧消耗率、离子强度、催化反应或粘结强度；所述的物理性质为密度或几何尺寸；所述的声学性质为频率、声波速度、声频和声强谱分布、声强、声吸收、或声谐振；所述的机械性质为内部压力、硬度、剪切强度、拉伸强度、断裂应力、粘附性、机械共振频率、弹性、塑性、或压缩性。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的第一材料和第三材料通过对第二材料具有选择性的光刻与刻蚀工艺实现图形化，并在第一、第三材料的层上形成至少一种沟槽特性。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的制造方法进而包括在材料堆叠的顶层加盖，形成封闭的沟槽。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述的封闭的沟槽用来输送生物样本，或观察和记录生物样本的特性和行为。

9.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述的加盖包括将第二器件放置于材料堆叠的顶端，第二器件是与被加盖的检测器件相同的器件，一片玻璃或晶体，或选自由以下的器件组成的组的功能性器件：图像器件、光探测器、传感器、记忆存储器、信号传输器件、逻辑处理部件、用作数据存储的电路、信号传输、与信号处理。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的第二材料使用对第一材料具有选择性的光刻和刻蚀工艺实现图形化，形成检测探针。

11.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的第一材料和第三材料使用对第二种材料具有选择性的光刻与刻蚀工艺实现图形化，在第一和第三材料的层内形成至少一种沟槽特性，且第二材料和沟槽的侧边合理地对齐。