[发明专利]一种丝网印刷机二次印刷精度的检测方法有效
| 申请号: | 201510539990.0 | 申请日: | 2015-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN105091755B | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
| 发明(设计)人: | 郭立;吴易龙;郭忠君;陈勇平 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008 | 代理人: | 周长清 |
| 地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 丝网印刷机 二次 印刷 精度 检测 方法 | ||
1.一种丝网印刷机二次印刷精度检测方法,其特征在于,步骤为:
S1:在正面电极第一次印刷所用的第一网版上的指定位置添加两个以上的第一类定位识别标记;
S2:在正面电极第二次印刷所用的第二网版上的指定位置添加两个以上的第二类定位识别标记;
S3:采用第一网版进行一次印刷,得到具有第一类定位识别标记的硅片;
S4:采用第二网版进行第二次印刷,得到同时具有第一类定位识别标记和第二类定位识别标记的硅片;
S5:对第一类定位识别标记和第二类定位识别标记所在区域进行采样,并对采样结果进行分析处理,判断二次印刷的精度;所述步骤S5中通过拍照的方式进行采样;所述步骤S5中通过拍照计算,得出两次印刷之间的错位数据,判断该错位是否在提前设置好的可接受范围内,以排除掉不合格的二次印刷的硅片;如果通过判断,发现在实际测量中连续出现相同的错位误差,则可以判断为机械结构存在误差,并可将△x、△y、△θ引入到第二次印刷之前的对位补偿中去,以提高印刷精度;
所述步骤S5的详细步骤为:
S501:将任意两个第一类定位识别标记的中心连接得到第一条线段;
S502:将任意两个第二类定位识别标记的中心连接得到第二条线段;
S503:计算两条线段之间的水平位移△x和垂直位移△y以及旋转角度△θ,判断二次印刷的精度。
2.根据权利要求1所述的丝网印刷机二次印刷精度检测方法,其特征在于,所述第一类定位识别标记与所述第二类定位识别标记为不同的图形。
3.根据权利要求2所述的丝网印刷机二次印刷精度检测方法,其特征在于,所述第一类定位识别标记与所述第二类定位识别标记为能相互匹配的不同图形。
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