[发明专利]元件基板和液体喷出头

权利要求书

1.一种元件基板，其包括：

喷出口，其用于喷出液体；

隔膜，其用于使液体通过所述喷出口喷出；

压电元件，其用于使所述隔膜变形；

压力室，其用于将由于所述隔膜的变形而产生的压力施加至液体；

流量减小部，其与所述压力室连通并且宽度比所述压力室的宽度小；以及

连接部，其用于连通所述压力室和所述流量减小部，

所述连接部和所述压力室在宽度方向上没有台阶的情况下彼此连通，

所述连接部的深度比所述压力室的深度小。

2.根据权利要求1所述的元件基板，其中，当从与所述隔膜垂直的方向看时，所述连接部和所述压力室之间的边界以直线状或圆弧状延伸。

3.根据权利要求1所述的元件基板，其中，当从与所述隔膜垂直的方向看时，所述隔膜的与所述连接部相邻的部分具有梯形形状。

4.根据权利要求1所述的元件基板，其中，所述压力室、所述流量减小部、所述隔膜和所述压电元件包括单晶硅基板。

5.根据权利要求1所述的元件基板，其中，

为一个压力室形成多个所述流量减小部，并且

所述多个流量减小部中的部分流量减小部包括用于供给液体的流量减小部，所述多个流量减小部中的其余流量减小部包括用于回收液体的流量减小部，从而形成包括所述压力室的循环路径。

6.一种元件基板，其包括：

喷出口，其用于喷出液体；

隔膜，其用于使液体通过所述喷出口喷出；

压电元件，其用于使所述隔膜变形；

压力室，其用于将由于所述隔膜的变形而产生的压力施加至液体；

流量减小部，其与所述压力室连通并且宽度比所述压力室的宽度小；以及

连接部，其用于连通所述压力室和所述流量减小部，

所述连接部和所述压力室在宽度方向上没有台阶的情况下彼此连通，

其中，当从与所述隔膜垂直的方向看时，所述连接部和所述压力室之间的边界以直线状或圆弧状延伸。

7.一种元件基板，其包括：

喷出口形成构件，其中形成有用于喷出液体的喷出口；

隔膜，其用于产生通过所述喷出口喷出液体用的压力；

流路形成构件，其用于与所述喷出口形成构件和所述隔膜一起形成压力室，所述压力室用于将来自所述隔膜的压力施加至液体；

流量减小部，其与所述压力室连通并且具有由所述喷出口形成构件和所述流路形成构件形成的流路壁；以及

连接部，其形成在所述压力室和所述流量减小部之间并且用于连通所述压力室和所述流量减小部，

所述压力室的宽度比所述流量减小部的宽度大，

所述连接部由所述流路形成构件形成，并且所述连接部和所述压力室在宽度方向上没有台阶的情况下连通。

8.根据权利要求7所述的元件基板，还包括压电元件，其用于使所述隔膜变形。

9.一种液体喷出头，其包括元件基板和电连接于所述元件基板的配线基板，

所述元件基板包括：

喷出口，其用于喷出液体；

隔膜，其用于使液体通过所述喷出口喷出；

压电元件，其用于使所述隔膜变形；

压力室，其用于将由于所述隔膜的变形而产生的压力施加至液体；

流量减小部，其与所述压力室连通并且宽度比所述压力室的宽度小；以及

连接部，其用于连通所述压力室和所述流量减小部，

所述连接部和所述压力室在宽度方向上没有台阶的情况下彼此连通，

所述连接部的深度比所述压力室的深度小。