[发明专利]静电离子加速器装置有效
申请号: | 201510535297.6 | 申请日: | 2008-09-12 |
公开(公告)号: | CN105228331B | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 诺贝特·科赫 | 申请(专利权)人: | 塔莱斯电子系统有限公司 |
主分类号: | H05H1/54 | 分类号: | H05H1/54 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 赵晓祎;戚传江 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 静电 离子 加速器 装置 | ||
1.静电离子加速器装置,包括:
电离室(IK),所述电离室沿纵向方向在一侧具有射束出口孔;
电极装置,所述电极装置包括阳极装置(AN)和阴极装置(KA),所述电极装置在电离室内产生基本指向纵向方向的静电场,其中,所述阳极装置与所述射束出口孔相对地布置在所述电离室的底部,并且其中在吸收来自所述电离室的电子的所述阳极装置(AN)的电极本体(EK)内产生损耗热量,
其中,所述阳极装置把在所述阳极装置上产生的损耗热量的主要部分作为热辐射(WS)散发到所述电离室(IK)中,
在所述电极本体(EK)的远离所述电离室(IK)的一侧沿所述纵向方向布置第一热辐射反射器件(R1)和第二热辐射反射器件(R2),其中所述第一热辐射反射器件被布置在所述第二热辐射反射器件(R2)和所述电极本体(EK)之间,并且通过间隔套能够精确设定所述电极本体(EK)、所述第一热辐射反射器件(R1)和所述第二热辐射反射器件(R2)沿所述纵向方向的相对位置,
所述第一热辐射反射器件(R1)和所述第二热辐射反射器件(R2)各包括反射面,所述反射面的发射能力低于所述电极本体(EK)的面向所述电离室的正面的发射能力,所述反射面的发射能力最多为所述电极本体(EK)的面向所述电离室的正面的发射能力的一半,
阳极承载本体(AT)被布置在所述第二热辐射反射器件的背离所述第一热辐射反射器件的一侧,所述阳极承载本体(AT)在其中心具有承载体(TB),所述承载体(TB)贯穿所述第一热辐射反射器件和所述第二热辐射反射器件(R1,R2)并且承载所述电极本体(EK),
使得来自所述电极本体(EK)的热主要由所述第一热辐射反射器件(R1)朝向所述电极本体(EK)反射,来自所述第一热辐射反射器件(R1)的热主要由所述第二热辐射反射器件(R2)朝向所述第一热辐射反射器件(R1)反射,并且来自所述第二热辐射反射器件(R2)的热由所述阳极承载本体(AT)和所述承载体(TB)朝向所述电极本体(EK)传导。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述热辐射反射器件包括至少一个在纵向方向上与所述电极本体间隔开的反射面。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述反射面与延续部一起垂直于纵向方向侧向环绕所述电极本体(EK)。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述热辐射反射器件包括所述电极本体的远离所述电离室的面的涂层作为反射面。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述电极本体(EK)基本上被构造成圆盘状。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述电极本体以隔热的方式相对于所述电离室的侧向边界屏蔽。
7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述电极本体的径向边缘与其他部件径向间隔开。
8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,从所述阳极装置的远离所述电离室的面供给工作气体(AG)。
9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述工作气体在所述电极本体(EK)的外部被径向引导经过所述电极本体进入所述电离室。
10.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述电极本体(EK)由石墨组成。
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