[发明专利]双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510532111.1 | 申请日： | 2015-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106486593B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 徐德辉;吴利青;熊斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/04;H01L35/34 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双通孔 结构 微型 热电 能量 采集 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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