[发明专利]三工位循环离子束抛光装置及加工方法

权利要求书

1.一种三工位循环离子束抛光装置，包括主真空室（1）、主真空室门（2）、矩形阀（3）、推车（4）、副真空室（8）、副真空室门（10），主真空室（1）中设有通向副真空室（8）的主室导轨（5-1）；其特征在于，副真空室（8）为矩形，长度为三个工位，其长度方向与主室导轨（5-1）垂直，并在该方向上设有副室导轨（5-2）；副室导轨（5-2）上设有工位移动平台（9），工位移动平台（9）上设有与主室导轨（5-1）衔接的左车导轨（5-3）和右车导轨（5-4）；左车导轨（5-3）上设有左工件移动车（7-1）及左夹具（6-1），右车导轨（5-4）上设有右工件移动车（7-2）及右夹具（6-2）。

2.根据权利要求1所述三工位循环离子束抛光装置，其特征在于，所述的工位移动平台（9）占用两个工位大小。

3.一种三工位循环离子束抛光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

A．准备好需要加工的工件，对工件进行加工顺序排序，如编号工件101、工件102、工件103、……；

B．打开副真空室门（10），把工件102安装在右夹具（6-2）上，然后把右夹具（6-2）安装在右工件移动车（7-2）上；

C．把工件101安装在左夹具（6-1）上，移动工位移动平台（9），使得左工件移动车（7-1）对准副真空室（8）窗口，然后把左夹具（6-1）安装在左工件移动车（7-1）上；

D．关闭副真空室门（10），对副真空室（8）进行抽真空；

E．待副真空室（8）真空抽到与主真空室（1）真空大致一致时，开启矩形阀（3）阀门，通过推车（4）把装载有工件101及左夹具（6-1）的左工件移动车（7-1）输送到主真空室（1）中，输送位置到位后，关闭矩形阀（3）阀门；

F．在主真空室（1）对工件101进行加工，加工完后打开矩形阀（3）阀门，通过推车（4）把装载有工件101及左夹具（6-1）的左工件移动车（7-1）输送到副真空室（8）；

G．移动工位移动平台（9）一个工位距离，使得右工件移动车（7-2）对准副真空室（8）窗口和矩形阀（3），通过推车（4）把装载有工件102及右夹具（6-2）的右工件移动车（7-2）输送到主真空室（1），输送位置到位后，关闭矩形阀（3）阀门；

H．在主真空室（1）对工件102进行加工，在加工的同时，对副真空室（8）进行充气，移动工位移动平台（9）一个工位，使得左工件移动车（7-1）对准副真空室（8）窗口，然后取出装载在左工件移动车（7-1）上的左夹具（6-1），从左夹具（6-1）上取出工件101，并在左夹具（6-1）重新装载工件103，然后把装有工件103的左夹具（6-1）安装在左工件移动车（7-1）上，关闭副真空室门（10），对副真空室（8）进行抽真空，同时移动工位移动平台（9），使得左工件移动车（7-1）偏离一个工位，确保右工件移动车（7-2）能通过矩形阀（3）送出；

因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准I．待工件102加工完后，打开矩形阀（3）阀门，通过推车（4）把装载有工件102及右夹具（6-2）的右工件移动车（7-2）输送到副真空室（8），然后移动工位移动平台（9），使得左工件移动车（7-1）对准副真空室（8）窗口和矩形阀（3），通过推车（4）把装载有工件103及左夹具（6-1）的左工件移动车（7-1）输送到主真空室（1），输送位置到位后，关闭矩形阀（3）阀门，然后重复步骤H，进行不间断地循环加工，直至所有工件加工完。