[发明专利]一种剥离液供给系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造加工技术领域，具体地说，涉及一种剥离液供给系统。

背景技术

在一般薄膜晶体管TFT制造工艺流程中，采用4～5道光罩工艺逐次形成所需的电路图案，其中每道工艺几乎均需进行剥离作业。剥离作业通常通过剥离机实现。剥离机中药液储槽的药液补给一般由化学品中央供给系统CCSS实现。药液补给结束后，用泵从药液储槽抽取药液，经过滤器过滤，供给到各剥离设备单元的喷淋系统，将药液喷洒在基板上，溶解去除光阻。

目前常见剥离机的药液供给系统不利于药液统一管理及成本降低。另外，由于各剥离机独自控制药液使用，增加了各机台的泵、过滤器等设备的投资。

发明内容

为解决以上问题，本发明提供了一种剥离液供给系统，用以对药液进行统一管理并降低剥离成本。

根据本发明的一个实施例，提供了一种剥离液供给系统，包括：

若干药槽，用于盛放剥离液；

多个剥离设备单元，基于预定原则分组，且分组后同一组内的剥离设备单元连接至同一药槽，用以接收药槽供给的剥离液来对被剥离物进行剥离处理。

根据本发明的一个实施例，基于预定原则分组包括：将具有相同剥离液种类、剥离液浓度和喷射条件的剥离设备单元分为一组。

根据本发明的一个实施例，同一组内的所述剥离设备单元各通过一条连接管路与同一药槽连接，并且在各个连接管路上设置一用以从所述药槽中抽取剥离液的泵。

根据本发明的一个实施例，在各个所述剥离设备单元与所述药槽的连接管路上设置有一位于所述泵与所述剥离设备单元之间的过滤器，用以对从所述药槽中抽取的剥离液进行过滤。

根据本发明的一个实施例，同一组内的各个所述剥离设备单元与所述药槽的连接管路汇集为一公用连接管路，通过所述公用连接管路与所述药槽连接，并在所述共用连接管路上配置一用以从所述药槽中抽取剥离液的泵。

根据本发明的一个实施例，在所述共用连接管路上设置有一位于所述泵与各个所述剥离设备单元之间的过滤器，用以对从所述药槽中抽取的剥离液进行过滤。

根据本发明的一个实施例，在各个所述剥离设备单元与所述过滤器之间的连接管路上各设置一自动阀，用以控制连接管路的开/闭。

根据本发明的一个实施例，通过控制与所述剥离设备单元连接的自动阀及所述剥离设备单元与所述药槽连接管路上的泵协同工作，以实现从所述药槽中抽取剥离液并将剥离液送至对应的剥离设备单元。

根据本发明的一个实施例，若干所述药槽基于其内部剥离液种类和杂质浓度的大小通过连接管道依次连通，用以在所述药槽中的剥离液达到更换条件后实现所述药槽间的级联换液。

根据本发明的一个实施例，若干所述药槽与化学品中央供给系统连接，所述化学品中央供给系统用于向所述药槽提供剥离液。

本发明的有益效果：

本发明通过将符合一定原则的药槽合并或将符合一定原则的剥离设备单元分至同一组后连接至同一药槽，可以减化药槽使用数量，减化设备硬件结构，降低设备投资。将同一组内的各个剥离设备单元与药槽的连接管路汇集为一公用连接管路，并在该共用连接管路上设置一个泵和过滤器，可以进一步降低设备投资。另外，由同一药槽向同一组内的剥离设备单元供液，有利于药液统一管理，并具有较好的药液浓度等均匀性，从而间接改善了药液导致的产品作业均匀性。此外，由于药液便于管理，药液中杂质容易控制，从而有利于改善剥离液中杂质导致的光阻残留。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图做简单的介绍：

图1是现有技术中的半导体/TFT制造工艺流程图；

图2是现有技术中的剥离机的药液供给系统结构示意图；

图3是根据本发明的一个实施例的剥离液供给系统示意图；以及

图4是根据本发明的另一个实施例的剥离液供给系统示意图。

具体实施方式