[发明专利]显微成像系统

权利要求书

1.一种用于对试样进行宽场显微成像的显微成像系统，包括：

具有物镜(1)的光路；

关于试样布置在物镜(1)后面的镜筒透镜系统(3)；

传输系统(5、15)，具有物镜侧的部件(6)和像侧的部件(7)，

其中，物镜侧的部件(6)具有至少一个第一物镜侧的透镜组件(8)和与所述第一物镜侧的透镜组件隔开间距的第二物镜侧的透镜组件(9)，像侧的部件(7)具有至少一个第一像侧的透镜组件(10)和与所述第一像侧的透镜组件隔开间距的第二像侧的透镜组件(11)，传输系统(5)以如下方式设计：将物镜(1)的出瞳(2)成像到物镜侧的部件(6)与像侧的部件(7)之间的光瞳平面(12)中且将试样的像从中间像平面(4)成像到像平面(13)中；以及

光学适配元件(14)，其中，能够为所述光学适配元件压印出球形或抛物线形的曲率，从而所述光学适配元件能够用于移动焦点，并且所述光学适配元件布置在物镜侧的部件(6)与像侧的部件(7)之间的光瞳平面(12)中。

2.根据权利要求1所述的显微成像系统，其特征在于，物镜侧的透镜组件(8、9)在镜筒透镜系统(3)和/或物镜(1)的、与物镜(1)的出瞳(2)成像到光瞳平面(12)中的过程相关的纵向和横向色像差方面，以至少修正达到预设的偏差标准的方式设计。

3.根据权利要求1或2所述的显微成像系统，其特征在于，像侧的透镜组件(10、11)以将与试样从中间像平面(4)成像到相平面(13)的过程相关的纵向和横向色像差修正达到预设的偏差标准的方式设计。

4.根据权利要求1或2所述的显微成像系统，其特征在于，物镜侧的和/或像侧的透镜组件(8、9、10、11)中的一个或多个构造为粘接透镜片。

5.根据权利要求1或2所述的显微成像系统，其特征在于，传输系统(5)沿光路能移动地布置。

6.根据权利要求5所述的显微成像系统，其特征在于，物镜侧的部件(6)和像侧的部件(7)能够彼此独立地或者彼此以预设的速比移动。

7.根据权利要求1或2所述的显微成像系统，其特征在于，在光路中，相对于传输系统(5)在前面布置有第一望远式系统(16)，在后面布置有第二望远式系统(17)。

8.根据权利要求7所述的显微成像系统，其特征在于，望远式系统(16、17)构造为是能更换的。

9.根据权利要求7所述的显微成像系统，其特征在于，望远式系统(16、17)为了调整可变的放大率而被构造为调焦望远式系统(18、19)。

10.根据权利要求1所述的显微成像系统，其特征在于，传输系统(15)连同光学适配元件(14)一起以绕光轴旋转对称的方式构造，并且光轴关于镜筒透镜系统(3)、中间像平面(4)和像平面(13)非对中心地设置。

11.根据权利要求10所述的显微成像系统，其特征在于，能够给光学适配元件(14)成形出球形的或抛物线形的曲率，传输系统(15)以对与之关联的像散现象加以修正的方式来设计。

12.根据权利要求1或2所述的显微成像系统，其特征在于，传输系统(5、15)构造为调焦系统。

13.根据权利要求12所述的显微成像系统，其特征在于，光学适配元件(14)构造为起反射作用的元件，朝向光学适配元件(14)以及自光学适配元件引出的光路穿过调焦系统的相同的透镜。

14.根据权利要求1或2所述的显微成像系统，其特征在于，传输系统(5、15)能够作为模块引入光路中。

15.根据权利要求1或2所述的显微成像系统，其特征在于，光学适配元件(14)是膜反射镜或者是空间光调制器。